บนพื้นโรงงาน การเบี่ยงเบนที่ 0.5°C ในระหว่างการเปิดใช้งานโดปานท์นั้นเพียงพอที่จะทำให้ความต้านทานแผ่นอยู่นอกสเปกและทำให้ล็อตทั้งหมดกลายเป็นของเสีย เราได้สร้างเครื่องทำความร้อนอินฟราเรดสำหรับการเปิดใช้งานโดปานท์เพื่อลดความเสี่ยงนี้ให้น้อยที่สุด
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ภายในเครื่อง
เราใช้เครื่องปล่อยแสงอินฟราเรดฮาโลเจนคลื่นสั้นในตัวควอทซ์ ส่งพลังงานไปยังเวเฟอร์โดยตรงด้วยเวลาตอบสนองภายในไม่กี่วินาที ในพื้นที่กระบวนการ ความสม่ำเสมอที่ระดับเวเฟอร์อยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำดีกว่า ±0.2°C ตั้งแต่ล็อตหนึ่งไปอีกล็อตหนึ่ง การควบคุมแบบปิดวงจรทำให้โปรไฟล์อุณหภูมิอยู่ในเกณฑ์ที่เข้มงวด—ไม่มีการเกินขอบเขต ไม่มีการเบี่ยงเบนจากการแช่ การเข้ากันได้กับห้องสะอาดถูกออกแบบเข้ามาในผลิตภัณฑ์: วัสดุที่ปล่อยก๊าซน้อย ผิวเรียบ และเส้นทางการไหลของอากาศที่ตระหนักถึงอนุภาคทำให้จำนวนอนุภาคอยู่ในระดับ Class 1–100 การผลิตยังคงมีเสถียรภาพมากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยลดลงน้อยกว่า 5% ในความเข้มข้น และเครื่องทำความร้อนถูกออกแบบมาเพื่อการใช้งานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วัน—มีแผนบำรุงรักษา ไม่ใช่เวลาหยุดงานที่ไม่คาดคิด
ทำไมสิ่งนี้จึงทำงานได้ในจุดที่สำคัญ
การเปิดใช้งานโดปานท์อยู่ที่จุดตัดระหว่างความแม่นยำทางความร้อนและการควบคุมการปนเปื้อน ด้วยเครื่องทำความร้อนอินฟราเรดนี้ คุณจะได้รับการควบคุมการเปิดใช้งานที่เข้มงวดโดยไม่ทำให้เกิดความแปรปรวนในขั้นตอนการอบฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ที่อยู่ใกล้เคียง โปรไฟล์การอบอ่อนและการอบแข็งยังคงสามารถทำซ้ำได้เนื่องจากสนามความร้อนมีเสถียรภาพและคาดการณ์ได้ ผลตอบแทนคือผลผลิตที่สูงขึ้น จำนวนการทำซ้ำที่น้อยลง และเวลารอบที่คุณสามารถวางใจได้ และเนื่องจากการเพิ่มอุณหภูมิถึงจุดแช่เร็วและการสูญเสียพลังงานในโหมดสแตนด์บายมีน้อย คุณจึงลดการใช้พลังงานและลดต้นทุนต่อเวเฟอร์โดยไม่สูญเสียคุณภาพ
สิ่งที่คุณต้องวางแผนสำหรับ
การติดตั้งขึ้นอยู่กับการเชื่อมต่อทางความร้อนที่ตรงกันและแรงดันไฟฟ้าที่ยึดมั่น หากการแกว่งของแรงดันไฟฟ้าเกิน ±1% การควบคุมอุณหภูมิเริ่มมีการเบี่ยงเบนเว้นแต่แหล่งจ่ายไฟจะได้รับการปรับสภาพ เครื่องทำความร้อนไฟฟ้าสามารถเข้ากันได้กับพื้นที่มาตรฐานของอุปกรณ์ แต่การบูรณาการต้องเคารพทิศทางการไหลของอากาศในห้องสะอาดและต้องรักษาระยะห่างจากออพติกที่ละเอียดอ่อน งบประมาณสำหรับการรันการติดตั้งสั้นๆ เพื่อยืนยันสูตรของคุณและตรวจสอบแผนที่ความสม่ำเสมอในผลิตภัณฑ์ของคุณ