ในโรงงานผลิตชิป การอบวัสดุด้วยความร้อนไม่ใช่เพียงขั้นตอนหนึ่งเท่านั้น แต่ถือเป็นจุดสำคัญที่ต้องควบคุมอย่างเข้มงวด การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ในระหว่างกระบวนการประมวลผลฟอโตรีซิสต์ ก็อาจส่งผลให้ความหนาของเส้นที่ใช้ในการพิมพ์ชิปเปลี่ยนไป และอาจก่อให้เกิดข้อบกพร่อง จนต้องทิ้งชิปทั้งล็อตไปเลย เราจึงสร้างตัวควบคุมเครื่องอบอินฟราเรดแบบดิจิทัลขึ้นมา เพื่อลดความเสี่ยงด้านอุณหภูมิเหล่านี้
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
ตัวควบคุมนี้ใช้เซ็นเซอร์อินฟราเรดแบบลูปปิดร่วมกับเครื่องส่งคลื่นความร้อนที่มีความไวสูง เพื่อรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ โดยมีความแม่นยำภายใน ±0.1°C ทั่วพื้นผิวของวัสดุ ทำให้สามารถควบคุมกระบวนการอบฟอโตรีซิสต์ได้อย่างแม่นยำ และยังช่วยให้การระเหยของสารละลายเกิดขึ้นอย่างสม่ำเสมอ ไม่มีปัญหาเกี่ยวกับการเกิดผิวหน้าไม่สม่ำเสมอ
ตัวควบคุมนี้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ และยังมีการปล่อยก๊าซออกมาในปริมาณน้อยมาก ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนไว้ และมีอายุการใช้งานมากกว่า 50,000 ชั่วโมง
เหตุผลที่ตัวควบคุมนี้มีประสิทธิภาพในกระบวนการพิมพ์ชิป
ในกระบวนการพิมพ์ชิป ความสำเร็จของการผลิตขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด ตัวควบคุมนี้ช่วยรักษาอุณหภูมิไว้ในระดับที่เหมาะสม ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของชิปได้อย่างแม่นยำ และลดการเกิดข้อบกพร่อง
ความสม่ำเสมอของกระบวนการอบช่วยลดเวลาในการทดสอบ และลดการต้องทำงานซ้ำ นอกจากนี้ ความสามารถในการประหยัดพลังงานยังช่วยลดต้นทุนการผลิตต่อแต่ละชุดอีกด้วย ผลลัพธ์คือได้ชิปที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ มีข้อบกพร่อนน้อยลง และสามารถผลิตชิปได้อย่างต่อเนื่องโดยไม่มีปัญหาเรื่องอุณหภูมิ
รายละเอียดที่ทำให้ตัวควบคุมนี้มีประสิทธิภาพ
การติดตั้งตัวควบคุมนี้ทำได้ง่าย แต่การเชื่อมต่อทางความร้อนนั้นมีความสำคัญมาก ต้องมีการติดตั้งเครื่องส่งคลื่นความร้อนให้เหมาะสมกับรูปร่างของวัสดุที่จะอบ มิฉะนั้นจะเกิดปัญหาเรื่องการสะท้อนความร้อนและความล่าช้าในการถ่ายเทความร้อน
ควรวางแผนการเชื่อมต่อสายไฟและการกระจายกระแสไฟฟ้าให้เหมาะสมกับมาตรฐานของอุปกรณ์ และต้องปรับแต่งโปรไฟล์การทำงานของตัวควบคุมให้เหมาะสมกับสูตรการอบฟอโตรีซิสต์ หากทำรายละเอียดเหล่านี้ได้ดี ตัวควบคุมนี้ก็จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพตลอดเวลา