На производственной линии термические колебания не только отражаются на графиках — они также снижают качество изделий. Изменение температуры на 2°C во время процесса просушки фоторезиста может свести на нет все усилия, приложенные для правильной литографии. Если во время сушки пластины возникает зона низкой температуры, на поверхности появляются полосы и частицы, которые прилипают к поверхности пластины. Инфракрасное нагревание помогает избежать этих проблем.
Что действительно важно с технической точки зрения
Инфракрасное излучение направляется туда и в то время, когда это необходимо, без создания чрезмерно высоких температур в камере. Наши излучатели быстро нагревают материал, что позволяет поддерживать стабильную температуру на уровне ±0,1°C по всей поверхности пластины. Создание чистых условий в классе 1–100 возможно благодаря использованию материалов с минимальным выбросом газов и отсутствием частиц. Процессы просушки фоторезиста проходят стабильно, с строгим соблюдением технологических параметров. Система рассчитана на круглосуточную работу с периодическим техническим обслуживанием, что не нарушает график производства.
Почему это эффективно
При сушке пластин инфракрасное излучение удаляет поверхностную влагу без создания чрезмерных температурных перепадов, что предотвращает появление дефектов. В процессе литографии происходит равномерное нагревание, что обеспечивает стабильность размеров деталей. При упаковке процесс затягивается меньше, а расход энергии снижается. При очистке и сушке остатки веществ испаряются полностью, что сокращает количество бракованных продуктов. В результате получается стабильный процесс с высоким КПД.
Чего нужно избегать
Инфракрасное излучение эффективно тогда, когда линия видимости не прерывается. Тени от фиксирующих устройств могут создавать зоны низкой температуры, поэтому необходимо заранее продумать расположение излучателей. Необходимо также учитывать характеристики излучения на используемых материалах. Правильная настройка обеспечивает стабильную работу системы при снижении операционных расходов, без потери времени производства.