На этапе литографии даже небольшое отклонение температуры в половину градуса может привести к смещению критических размеров изделий, что в свою очередь может привести к порче всей партии продукции. Температурный режим – это параметр, с которым нельзя идти на компромиссы. Мы разработали этот корпус для инфракрасных ламп, чтобы температура в процессе обработки пластин оставалась точно на нужном уровне – в пределах допусков, в заданные сроки, для каждой отдельной пластины.
Что важно при использовании данного устройства: Если соединить этот корпус с излучателями коротковолнового или средневолнового инфракрасного излучения, можно получить быстрое и эффективное нагревание. Уровень однородности температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C, что обеспечивает стабильность процесса обработки. Интенсивность излучения остается стабильной в течение более 5 000 часов, при этом отклонение не превышает 5%.
Кварцевый интерфейс и корпус из высокочистой керамики разработаны для использования в чистых помещениях класса 1–100. Это позволяет минимизировать количество частиц в воздухе, которые могут повлиять на процесс обработки. С электрической точки зрения устройство поддерживает напряжение 200–240 В переменного тока; имеются соответствующие разъемы и защита от электромагнитных помех. Температурный режим контролируется с высокой точностью.
Почему это работает в реальных устройствах для обработки пластин: В таких устройствах тепло должно быстро достигать цели, а затем оставаться на одном уровне. Этот корпус позволяет быстро достичь желаемой температуры и сохранять её без перегрева. Благодаря этому профили фоторезиста остаются в пределах допусков с первой по последнюю пластину. Это снижает количество ошибок, повышает производительность и обеспечивает предсказуемость сроков технического обслуживания.
Инфракрасные излучатели работают эффективно, поэтому больше энергии тратится на нагрев пластины, а не теряется в окружающей среде. Можно выполнять обработку тысяч пластин без перерывов из-за отклонений температуры.
Вот практические детали: Допуски при монтаже очень строгие: расстояние между излучателем, корпусом и отражателем должно быть не более 0,2 мм. При максимальной мощности температура корпуса может превышать 600°C, поэтому необходимо соблюдать определенное расстояние от окружающих полимеров и кабелей.
Необходимо использовать специальные тепловые интерфейсы и крепежные элементы, соответствующие требованиям чистых помещений. После установки необходимо провести проверку уровня однородности температуры. Корпус совместим с большинством контроллеров устройств, но возможно потребуется корректировка значений измерений пирометра.