Сокращение выбросов углерода при производстве полупроводников (без повреждения оборудования)
При проведении процедур промывки в процессе производства полупроводников необходимо соблюдать тонкий баланс. Необходимо как можно быстрее удалить влагу с пластины, но в то же время нельзя допустить ни малейшего загрязнения.
Долгое время люди использовали метод конвективного нагрева – просто нагревали воздух в помещении. Но мы нашли лучший способ: использование водонепроницаемых инфракрасных ламп.
Проблемы, связанные с влажной средой
Процессы промывки оказывают серьезное воздействие на оборудование. Под действием постоянной влажности и химических паров обычные лампы быстро выходят из строя. Чтобы избежать этого, мы используем специальные кварцевые корпуса и герметичные уплотнители. Это помогает предотвратить попадание влаги к электродам. Кроме того, мы используем лампы с высокой мощностью. Почему? Потому что это позволяет мгновенно высушить поверхность пластины. Чем меньше времени пластина находится в этой зоне, тем выше производительность.
Проблемы, связанные с водонепроницаемостью
Когда мы говорим о водонепроницаемости, мы имеем в виду не просто защитную оболочку. Речь идет о высокотемпературных уплотнителях и герметичных крышках, которые предотвращают проникновение пара и брызг внутрь корпуса. Однако есть один недостаток: кварц расширяется при нагревании. Если крепления слишком тугие, трубка может сломаться во время цикла нагрева. Это серьезная проблема, которую мы стараемся избежать, точно соответствуя параметрам расширения кварца.
Экономия энергии
Замена больших печей с принудительным нагревом на инфракрасные лампы – это значительная экономия для планеты. Вместо того чтобы тратить энергию на нагрев воздуха в помещении, инфракрасные лампы направляют энергию прямо на поверхность пластины. Это эффективно и позволяет снизить потребление энергии на единицу продукции. Это также помогает выполнить требования к «зеленым фабрикам».
Важно помнить, что эти лампы выделяют большое количество излучения. Если система охлаждения и вентиляции не справляется с этой задачей, датчики вокруг ламп будут перегреваться. Чтобы избежать этого, рекомендуется использовать систему точного управления PID. Она позволяет регулировать мощность ламп так, чтобы достичь нужной температуры без её превышения.