Как сохранить чистоту поверхности полупроводниковых пластин (и сохранить высокий уровень производительности)
При нагреве полупроводниковых пластин температура — это лишь один из факторов, имеющих значение. Настоящей проблемой является пыль. В клинически чистой среде класса 100 достаточно всего лишь одной крошечной частицы загрязнения, чтобы испортить целую партию кремния. Это раздражает, стоит дорого и можно полностью избежать этого.
Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты и золотое покрытие. Таким образом мы предотвращаем загрязнение ещё на этапе его возникновения.
Почему мы используем золото
Стандартные инфракрасные лампы теряют энергию. Большая часть тепла просто рассеивается или тратится впустую. Мы решаем эту проблему, покрывая кварц тонким слоем золота. Это своего рода зеркало, которое отражает инфракрасную энергию. Таким образом все тепло направляется прямо на пластину, что повышает интенсивность нагрева именно там, где это необходимо.
Золото также является отличным выбором по другой причине: оно не окисляется. Дешевые покрытия начинают отслаиваться после нескольких сотен циклов нагрева. Золото же остается на месте. Это значит, что металлическая пыль не попадает в зону производства и не портит процесс.
Детали о материалах
Мы используем кварц высокой чистоты, потому что он не выделяет газы при нагреве. Такие лампы могут быстро достигать высоких температур, что необходимо для точного обработки материалов.
Но есть один недостаток: из-за способности золота отражать тепло, задняя часть лампы остается прохладной, в то время как передняя часть нагревается сильно. Необходимо обеспечить правильную работу системы охлаждения, иначе лампа может повредить соседние датчики.
Как использовать эти лампы
Мы разработали эти лампы так, чтобы их было легко заменять. Независимо от того, используется ли специальный кронштейн или стандартный разъем, лампы будет надежно фиксироваться. Не будет никаких проблем с вибрациями.
Совет: поддерживайте стабильное напряжение. Перепады напряжения могут повредить лампу. Если вы будете обеспечивать стабильное напряжение, лампы будут работать эффективно, без каких-либо проблем.