Прекратите позволять нагревательным элементам разрушать качество ваших полупроводниковых пластин! Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, как это ужасно: один-единственный кусочек покрытия или небольшое количество химических газов, выделяемых лампой, может испортить всю партию продукции. Это очень раздражает. Вы вкладываете много денег в создание условий для производства, а стандартные инфракрасные лампы все равно портят продукцию.
Мы нашли способ этого избежать. Мы перешли на использование синтетического кварца высокой чистоты для производства ламп для полупроводниковой промышленности. Такие лампы не выделяют никаких загрязнителей.
Важность чистоты
Большинство ламп используют дешевые клеи и уплотнители, которые начинают „дымить“ при температуре 600°C. Именно отсюда и появляются загрязнения. Мы полностью отказались от таких материалов. Мы используем фусированный кремний с практически нулевым содержанием металлических примесей. Это очень важно, потому что это предотвращает появление нежелательных эффектов, связанных с перемещением примесей на поверхность при высоких температурах. Наши уплотнители способны выдерживать постоянное нагревание и охлаждение без разрушения или выделения углеродных частиц.
Тепло там, где это действительно нужно
Эти лампы излучают высокоинтенсивное коротковолновое излучение. Преимущество этого заключается в том, что нагревается сама поверхность полупроводниковой пластины, а не воздух внутри комнаты. Это происходит очень быстро. Поскольку лампы быстро нагреваются, системе кондиционирования не нужно работать в повышенном режиме, чтобы бороться с жарой. Это позволяет точно контролировать процесс сушки полупроводниковых пластин или обработки фоторезистов.
Несколько советов
Высокочистотный кварц отлично справляется с задачами нагрева, но он хрупкий. Он не выдерживает сильных ударов. Если ваше оборудование вибрирует во время запуска или остановки, лампа может сломаться. Убедитесь, что крепления лампы защищены от вибраций. Это очень важно. Кроме того, эти лампы становятся чрезвычайно горячими для соответствия стандартам полупроводниковой промышленности. Обязательно проверьте систему охлаждения. Если ее размеры неправильные, гнезда для ламп просто растопятся. Если вы хотите заменить свои текущие лампы, эти лампы подходят в качестве замены. Просто проверьте их длину и мощность – и все будет в порядке.