No processo de litografia, até mesmo uma pequena variação de temperatura de meio grau pode afetar negativamente as dimensões críticas dos wafers, podendo causar a destruição de todo um lote de produtos. O custo térmico não é algo que se possa negociar. Criamos esse suporte para lâmpadas infravermelhas para que a temperatura do processo fique exatamente onde precisa estar – sempre dentro dos limites estabelecidos, em todos os wafers.
O que importa realmente é a uniformidade da temperatura. Ao combinar esse suporte com emissores de luz NIR de onda curta ou média, obtém-se um aquecimento rápido e preciso. A uniformidade da temperatura na área de calorização é de ±0,1°C, o que garante que os perfis de aquecimento sejam consistentes em todos os wafers. A intensidade da luz permanece estável por mais de 5.000 horas, com variações inferiores a 5%.
A interface de quartzo e o corpo cerâmico de alta pureza foram projetados para serem utilizados em salas limpas de classe 1–100, evitando assim o acúmulo de partículas que poderiam prejudicar o processo. Ele aceita entrada elétrica de 200–240 VAC, possui conectores compatíveis com as ferramentas e proteção contra interferências eletromagnéticas. O sistema térmico funciona de maneira controlada e silenciosa.
Por que isso funciona bem nas ferramentas de processamento de wafers? Nas ferramentas de processamento de wafers, é necessário que o calor seja aplicado rapidamente, mas também de maneira estável. Esse suporte permite que a temperatura seja ajustada rapidamente e mantida estável, garantindo que os perfis de tratamento dos wafers permaneçam dentro dos padrões exigidos, desde o primeiro até o último wafer. Isso resulta em menos problemas, maior taxa de produção e intervalos de manutenção previsíveis.
Os emissores NIR transmitem energia de maneira eficiente, fazendo com que mais energia se transforme em calor no wafer, em vez de ser desperdiçada. Assim, é possível realizar processamentos com milhares de wafers sem interrupções devido a variações térmicas.
Aqui estão os detalhes práticos: a tolerância de montagem é muito precisa. É necessário alinhar o emissor, o suporte e o refletor com precisão de 0,2 mm, caso contrário, a uniformidade da temperatura será afetada. Em condições de alta potência, o corpo do suporte pode atingir temperaturas acima de 600°C; portanto, é preciso manter distância suficiente de polímeros e cabos próximos. Use apenas componentes compatíveis com salas limpas, e faça um teste de uniformidade após a instalação. O suporte funciona com a maioria dos controladores de ferramentas, mas pode ser necessário fazer ajustes para corresponder às leituras do pirômetro.