Koolstofreductie bij de productie van halfgeleiders (zonder dat je apparatuur beschadigd raakt)
Bij het reinigen van halfgeleiders moet je een balans vinden tussen snelheid en zuiverheid. Je moet de vochtigheid van de wafer zo snel mogelijk verwijderen, maar je mag geen enkele vorm van vervuiling toestaan.
Lang geleden werd er gebruik gemaakt van conventionele verwarming – oftewel het blazen van hete lucht over alle oppervlakken. Maar we hebben een betere manier gevonden: waterdichte infraroodlampen.
Het probleem met vochtige omgevingen
Reinigingsprocessen zijn zeer zwaar voor de apparatuur. Door de constante vochtigheid en chemische stoffen zouden gewone lampen al snel kapotgaan. Om dit te voorkomen, gebruiken we speciale kwartsomhulsels en hermetische afsluitingen. Hierdoor blijft de vochtigheid uit de buurt van de elektroden. Bovendien maken we gebruik van hoge vermogensdichtheden. Waarom? Omdat je de oppervlakken zo snel mogelijk wilt drogen. Hoe korter de wafer in deze zone blijft, hoe beter het resultaat.
Het ‘waterdichte’ aspect
Als we het hebben over ‘waterdicht’, bedoelen we niet een regenjas. We bedoelen hoge-temperatuurgaskets en goed afgesloten elementen die vocht en spatjes buiten de behuizing houden.
Er is echter één probleem: kwarts zwelt op wanneer het heet wordt. Als de bevestigingsonderdelen te strak zijn, kan de buis tijdens het verhitten breken. Dit is een vervelend probleem dat we proberen te voorkomen door de uitzettingssnelheden perfect op elkaar af te stemmen.
Energiebesparing (en minder stress)
Het vervangen van deze grote warmtebronnen door gerichte infraroodverwarming is een grote stap voorwaarts voor het milieu. In plaats van energie te verspillen aan het opwarmen van elke centimeter lucht in de kamer, wordt de energie rechtstreeks naar het substraat gestuurd. Dit is efficiënter. Hierdoor daalt het aantal verbruikte kilowatturen per wafer, waardoor het gemakkelijker wordt om aan de vereisten van ‘groene fabrieken’ te voldoen.
Let op: deze lampen genereren veel stralingswarmte. Als de koeling en ventilatie in de kast niet goed werken, kunnen de sensoren oververhit raken. Om dit te voorkomen, raden we aan om een nauwkeurige PID-regeling te gebruiken. Hierdoor kan de temperatuur precies worden geregeld, zonder dat het nodig is om de temperatuur te ver overschrijden.