Zorg dat de warmte precies daar terechtkomt waar het nodig is
In een waferfabriek is het niet voldoende om simpelweg de vermogenssterkte op te voeren. Als je gewoon veel energie naar het probleem stuurt, verspil je energie. Het echte trucje ligt in de manier waarop je die fotonen richting het juiste doel stuurt.
Daarom gebruiken we kwartsbeschermingslagen die bedekt zijn met goud. Denk erbij aan spiegels die voorkomen dat warmte het apparaat binnendringt, en die de warmte juist weer terugkaatsen naar de wafer.
Waarom goud?
Standaard kwarts laat infraroodstraling in alle richtingen gaan. Maar wanneer je er een dunne laag goud op aanbrengt, creëer je een barrière die warmte niet kan passeren. We kiezen voor goud omdat het beter in staat is om infraroodstraling te weerkaatsen dan zilver of aluminium.
Op deze manier blijft alles onder controle. Elke beetje elektriciteit dat je gebruikt, komt daadwerkelijk terecht waar het nodig is.
Omgaan met de warmte
Je kunt niet zomaar ieder soort glas gebruiken. We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal bestand is tegen hoge temperaturen. Zodra je de schakelaar van de lamp indrukt, stijgt de temperatuur onmiddellijk. De meeste materialen zouden onder zulke druk breken, maar kwarts kan dit wel aan.
We brengen het goud aan met behulp van vacuümprecisietechnieken, zodat het op zijn plek blijft. Als deze laag begint los te komen tijdens het verhitten, ben je in de problemen. Dan verandert de focus, daalt de temperatuur van de wafer, en raakt het proces in de war.
De nadelen
Het goede nieuws is dat wanneer de beschermingslagen de warmte effectief kunnen weerkaatsen, je de lampen niet op volle kracht hoeft te gebruiken om de gewenste temperatuur te bereiken. Dat is een grote winst voor de wolframdraadjes – ze gaan veel langer mee.
Er is echter één nadeel: je moet deze beschermingslagen perfect schoon houden. Eén vingerafdruk of vlekje chemische resten op het gouden oppervlak kan al snel tot problemen leiden. Dat veroorzaakt een “ hete plek”, en dat betekent dat de wafer kapotgaat.
Doe jezelf een plezier: gebruik IPA van hoge zuiverheid om alles schoon te maken voordat je het installeert. Het kost wat extra tijd, maar het bespaart je later enorm veel problemen.