Op de lithografielijn is het verhitten van de EUV-resist geen gewone stap meer – het vormt juist een essentieel onderdeel van het thermische systeem. Eén halve graad verschil kan al invloed hebben op de nauwkeurigheid van de afmetingen van de chip. Bovendien kan één enkele deeltje al schade toebrengen aan de hele chip. Wanneer de heater niet goed werkt, leidt dat tot verspilling, herwerkzaamheden en onplanbare stilstanden.
Wat echt belangrijk is
Onze EUV-resistheaters zijn ontworpen om een constante temperatuur te bereiken. Hierbij worden korte- en middengolfinfraroodbronnen gebruikt, samen met kwarts- en carbonvezelmaterialen, zodat de temperatuur over de hele chip binnen ±0,1°C blijft. De temperatuurstijging wordt zorgvuldig geregeld, omdat zowel een zachte als een harde verhittingsprocedure vereisen dat de temperatuur stabiel blijft, zodat de chemische eigenschappen van de resist behouden blijven.
De hardware is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen en afwerkingen zijn zodanig gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd. Hierdoor blijft de temperatuur stabiel, waardoor de afmetingen van de chip nauwkeuriger zijn en er minder fouten optreden.
Waarom het werkt in EUV-lithografie
EUV-lithografie staat weinig toe wat betreft thermische fouten. Onze resistentheaters zorgen ervoor dat de temperatuur constant blijft, waardoor de kwaliteit van de chips consistent blijft en de foutentolering afneemt. Het systeem kan 24/7 draaien, met regelmatige onderhoudsintervallen, waardoor onplanbare stilstanden worden voorkomen.
We beheren het energieverbruik zonder dat de temperatuur wordt beïnvloed. Hierdoor blijft de productiecapaciteit hoog, terwijl de operationele kosten omlaag gaan. Voor teams die chips produceren en verpakken, betekent dit een hogere kwaliteit van de producten en minder variatie tussen verschillende batches.
Praktische details
Deze componenten zijn ontworpen voor specifieke kamergeometrieën en aansluitingen. Het is belangrijk dat de afmetingen, spanning en controleprotocollen overeenkomen met die van uw apparatuur. Er is dus geen ruimte voor fouten – dit is essentieel voor een goede werking.
U kunt verwachten dat het even duurt om de parameters van de heater in te stellen. Als u in een omgeving met hoge luchtvochtigheid werkt, let dan goed op de aansluitingen; dit is belangrijk voor de lange termijnstabiliteit. Als alles goed is ingesteld, zal het systeem op de gewenste manier werken: stil, reproduceerbaar en meetbaar.