깨끗한 환경을 유지하기 위한 팁: 가열에 관한 진실
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 조금만 먼지가 생기거나 저품질 히터에서 유해 가스가 나오면 웨이퍼가 망가집니다. 그러면 생산성도 떨어집니다. 정말 답답하고, 비용도 많이 듭니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
왜 석영인가?
대부분의 금속으로 만들어진 히터들은 시간이 지나면서 벗겨지거나 산화됩니다. 그 결과 입자들이 발생합니다. 하지만 고OH 함량을 가진 융합 석영은 열이 가해져도 분해되거나 유기물을 방출하지 않습니다.
게다가, 단파 복사를 통해 열이 전달되기 때문에 기판 자체가 직접 가열됩니다. 주변 공기가 가열되지 않으므로 바닥에 있던 먼지가 날아오르는 현상도 없습니다. 훨씬 깨끗합니다.
전력과의 타협
목표 온도에 빠르게 도달하려면 고밀도 램프가 필요합니다. 하지만 문제가 있습니다. 작은 공간에 너무 많은 전력을 공급하면 극심한 국소적 열이 발생합니다. 냉각팬과 히트 싱크가 제대로 작동하지 않으면 램프의 끝부분이 열 스트레스로 인해 손상될 수 있습니다. 이는 균형을 맞춰야 하는 문제입니다.
장비의 안정적인 작동
우리는 빠른 교체를 위해 이러한 램프를 설계했습니다. 아무도 몇 시간 동안 생산라인이 멈추는 것을 원하지 않으므로, 연결부가 단단하고 진동에도 견딜 수 있도록 했습니다. 이렇게 하면 진공 상태나 통제된 공기 환경에서도 아크가 발생하는 것을 방지할 수 있습니다.
한 가지 팁: 전원 공급 장치를 안정적으로 유지하세요. 전압 변동은 필라멘트를 파괴하는 가장 빠른 원인입니다.
주의사항
이 램프들은 완전히 내구성이 있는 것은 아닙니다. 석영은 깨지기 쉽습니다. 설치 과정에서 기술자가 부주의하여 작은 금이 생기면, 램프가 작동하기 시작하는 순간 바로 파손될 수 있습니다. 정말 안타까운 일입니다.
그리고 꼭 먼지가 없는 장갑을 사용하세요. 석영 표면에 지문이 남으면 피지가 유리에 달라붙어 열점이 생깁니다. 그러면 곧 램프가 파손됩니다.