방해 요소 없이 글로브박스를 가열하는 방법
클래스 100급 청정실이나 밀폐된 글로브박스에서 작업할 때는 어떤 어려움이 있는지 잘 알고 계실 것입니다. 열을 가하는 것은 그냥 히터를 연결하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 공정 중에 물질들이 기화되거나 부스러져 나오는 것을 막아야 합니다. 단 하나의 미세한 입자라도 있으면 전체 작업이 망가질 수 있습니다.
그래서 우리는 적외선 소자로 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이를 통해 금속 오염물질이 전혀 들어오지 않도록 합니다.
순도의 중요성
일반적인 석영에는 미량의 불순물이 포함되어 있습니다. 고온에서는 이러한 불순물들이 가스로 변할 수 있습니다. 이는 좋지 않습니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 특수한 융합 실리카 구조를 사용합니다. 이를 통해 램프가 가열되거나 냉각될 때 미세한 입자들이 날아오르지 않습니다. 제약용 재료나 반도체 웨이퍼를 다룰 때는 이 방법만이 진정한 청결을 유지할 수 있는 방법입니다.
적절한 설치 방법
우리는 진공 상태나 불활성 가스 환경을 해치지 않으면서도 많은 열을 처리할 수 있는 장비를 만듭니다. 단파나 중파 출력을 원하든, 핵심은 밀폐성입니다. 우리는 특수한 전극과 고급 밀폐 장치를 사용하여 연결 부위에서 누출이 발생하지 않도록 합니다.
한 가지 명심해야 할 점은, 작은 공간에 너무 많은 와트수의 전력을 공급하면 석영에 엄청난 부담이 가해진다는 것입니다. 만약 작은 공간에 고출력의 램프를 사용한다면, 주변의 민감한 전자기기들이 손상되지 않도록 환기 시스템을 잘 갖추어야 합니다.
설치 및 연결 방법
이 장비들은 기존의 적외선 배열을 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 전체 장비를 재조립할 필요가 없습니다. 우리는 배선을 간단하게 하기 위해 여러 가지 커넥터 옵션을 제공합니다.
이 장비들은 매우 뜨거워지기 때문에, 저는 항상 금 도금된 접점이나 고온에 견디는 합금 접점을 사용할 것을 권장합니다. 이를 통해 접점 부분의 산화를 방지할 수 있습니다.
가장 위험한 것은 접점의 문제입니다. 접점이 좋지 않으면 아크가 발생합니다. 아크는 입자를 만들어냅니다. 클래스 100급 환경에서는 단 한 번의 아크만으로도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그러니 전압 규격을 준수한다면 필라멘트는 오랫동안 사용할 수 있습니다.