Riduzione delle emissioni di carbonio nella produzione di semiconduttori (senza danneggiare l’equipaggiamento)
Quando si tratta delle fasi di lavaggio durante la produzione di semiconduttori, è necessario trovare un equilibrio delicato. Bisogna eliminare rapidamente l’umidità dalle lastre di silicio, ma allo stesso tempo non si può permettere alcuna particella di contaminante.
Per lungo tempo, si è utilizzato il riscaldamento convettivo, cioè l’uso di aria calda per asciugare le lastre. Ma abbiamo trovato un metodo migliore: le lampade a infrarossi impermeabili.
I problemi legati agli ambienti umidi
Le linee di lavaggio rappresentano una sfida per l’equipaggiamento: l’umidità costante e i vapori chimici possono distruggere facilmente le lampade tradizionali. Per evitare che queste si danneggino precocemente, utilizziamo rivestimenti in quarzo e sigilli ermetici. In questo modo, l’umidità viene tenuta lontana dagli elettrodi. Inoltre, utilizziamo lampade con alta densità di potenza: così facendo, la superficie delle lastre viene asciugata rapidamente. Meno tempo trascorre la lastra in questa zona di transizione, migliore sarà il risultato finale.
Gestire il problema dell’impermeabilità
Quando parliamo di “impermeabilità”, non ci riferiamo a un semplice giubbotto impermeabile. Ci riferiamo invece a guarnizioni resistenti ad alta temperatura e a componenti chiusi ermeticamente, in grado di impedire all’acqua e ai spruzzi di penetrare nell’apparecchiatura.
Tuttavia, c’è un problema: il quarzo si espande quando diventa caldo. Se i supporti di fissaggio sono troppo stretti, il tubo potrebbe rompersi durante i cicli di riscaldamento. È un errore che cerchiamo di evitare, assicurandoci che i tassi di espansione siano correttamente bilanciati.
Risparmio di energia
Sostituire gli forni a aria forzata con sistemi di riscaldamento a infrarossi rappresenta un grande vantaggio per il pianeta. Invece di sprecare energia per riscaldare ogni centimetro cubo d’aria, i raggi infrarossi trasmettono l’energia direttamente sul substrato. È un metodo più efficiente. In questo modo, si riduce il consumo di energia per ogni lastra di silicio, rendendo molto più semplice rispettare i requisiti delle “fabbriche verdi”.
Un consiglio: queste lampade generano molta calore. Se il sistema di raffreddamento e ventilazione non è adeguato, i sensori circostanti potrebbero surriscaldarsi. Per mantenere tutto sotto controllo, consigliamo l’uso di un sistema di controllo PID preciso. Questo sistema permette di regolare la potenza in modo da raggiungere la temperatura desiderata senza superarla, evitando così problemi.