Smettete di permettere che i componenti di riscaldamento rovinino i vostri risultati di produzione. Se avete una sala pulita di classe 100, conoscete bene questo problema: anche un piccolissimo frammento di rivestimento o una piccola quantità di gas chimico che fuoriesce dalla lampada può compromettere la qualità dei prodotti ottenuti. È frustrante… Avete investito molto denaro per creare un ambiente pulito, solo per poi vedere come una lampada IR standard rovini tutto.
Abbiamo trovato un modo per evitare questo problema: abbiamo passato all’uso di quarzo sintetico ad alta purezza per le nostre lampade destinate all’industria dei semiconduttori. In questo modo non ci sono più problemi legati alla perdita di materiali o a eventuali contaminazioni.
La importanza della purezza
La maggior parte delle lampade utilizza adesivi o sigilli di scarsa qualità, che iniziano a “fumare” già a 600°C. È da lì che nascono le contaminazioni. Noi abbiamo eliminato completamente questi materiali. Utilizziamo silice fusa, priva di impurità metalliche. Questo è fondamentale, poiché evita quel fastidioso effetto di contaminazione causato dalle impurità che migrano sulla superficie sotto l’effetto del calore elevato. I nostri sigilli sono progettati per resistere al continuo riscaldamento e raffreddamento, senza rompersi o rilasciare particelle di carbonio.
Calore dove serve davvero
Queste lampade emettono radiazioni a breve lunghezza d’onda ad alta intensità. Il vantaggio è che riscaldano direttamente il substrato, senza riscaldare l’aria presenti nella camera. È un processo molto veloce. Poiché le lampade arrivano rapidamente alla temperatura desiderata, il sistema di ventilazione non deve lavorare sforzandosi troppo per contrastare il calore. Questo permette di avere un controllo preciso durante processi come la disidratazione dei wafer o la cottura dei fotoresistenti.
Qualche cosa da considerare
Il quarzo ad alta purezza è ottimo per assorbire il calore, ma è fragile. Non può sopportare urti. Se la macchina vibra durante il avvio o lo spegnimento, il tubo potrebbe rompersi. Assicuratevi che i supporti su cui è montata la lampada siano ben isolati. Non posso sottolinearlo abbastanza. Inoltre, queste lampade diventano estremamente calde per soddisfare gli standard richiesti dall’industria dei semiconduttori. Verificate bene i sistemi di raffreddamento: se non sono adeguatamente dimensionati, le lampade potrebbero fondersi. Se volete sostituire le vostre lampade attuali, queste sono progettate per essere sostituite facilmente. Basta verificare la lunghezza e la potenza delle lampade nuove, e sarete pronti per l’uso.