अर्धचालक निर्माण में कार्बन कम करना (बिना उपकरणों को नुकसान पहुँचाए)
अर्धचालक निर्माण में, वेफर से नमी हटाने की प्रक्रिया में संतुलन बनाए रखना बहुत ही मुश्किल है। आपको वेफर से जल्दी से नमी हटानी होती है, लेकिन इस प्रक्रिया में किसी भी तरह का दूषण होना अस्वीकार्य है।
लंबे समय तक, लोग केवल गर्म हवा का उपयोग करते रहे। लेकिन हमने एक बेहतर तरीका खोजा है – वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड लैंप।
नम वातावरण की समस्याएँ
रिन्सिंग प्रक्रिया में, हार्डवेयर को बहुत नुकसान पहुँचता है। लगातार नमी एवं रासायनिक वाष्पों के कारण, सामान्य लैंप तो जल्द ही खराब हो जाते हैं।
इस समस्या से बचने हेतु, हम विशेष क्वार्ट्ज आवरणों एवं हर्मेटिक सीलों का उपयोग करते हैं। ऐसा करने से नमी इलेक्ट्रोडों तक नहीं पहुँच पाती। इसके अलावा, हम उच्च वॉट घनत्व का उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसा करने से वेफर की सतह तुरंत सूख जाती है। वेफर के उस क्षेत्र में रहने का समय जितना कम होगा, आपकी उत्पादन दर उतनी ही बेहतर होगी।
“वॉटरप्रूफ” समस्याएँ
“वॉटरप्रूफ” का मतलब यह नहीं है कि लैंप बारिश से बचा सकता है… बल्कि इसका मतलब है कि ऐसे लैंप भाप एवं पानी को आवरण से बाहर रखते हैं।
लेकिन एक समस्या यह है कि क्वार्ट्ज गर्म होने पर फैल जाता है… यदि माउंटिंग ब्रैकेट बहुत कसे हों, तो गर्मी के कारण ट्यूब टूट सकती है। ऐसी स्थिति से बचने हेतु, हम विस्तार दरों को ठीक से संतुलित करते हैं।
ऊर्जा बचाना
बड़े ऑवनों के बजाय इन्फ्रारेड हीटिंग का उपयोग करने से ऊर्जा की बचत होती है। इन्फ्रारेड ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचाता है… यह बहुत ही कुशल तरीका है। ऐसा करने से प्रति वेफर आवश्यक किलोवाट-घंटे की मात्रा कम हो जाती है… जिससे “ग्रीन फैक्ट्री” के मानकों को पूरा करना आसान हो जाता है।
ध्यान रखें: ऐसे लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा निकलती है… यदि कैबिनेट का शीतलन एवं वेंटिलेशन प्रणाली ठीक से काम न करे, तो आसपास के सेंसर ओवरहीट हो जाएँगे।
स्थिति को संतुलित रखने हेतु, हम PID कंट्रोल सिस्टम का उपयोग करने की सलाह देते हैं… ऐसा करने से आप अपने लक्ष्य तापमान तक पहुँच सकते हैं, बिना किसी समस्या के।