300 मिमी लाइन पर, थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन होने से ही क्रिटिकल डायमेंशन (CD) का नियंत्रण खराब हो जाता है। इसलिए हीटर को हमेशा साफ रखना आवश्यक है, एवं हर बार एक ही स्तर पर तापमान बनाए रखना आवश्यक है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से हीटिंग तत्व बनाते हैं, ताकि गैसों एवं धात्विक पदार्थों का प्रवेश न्यूनतम रहे। क्वार्ट्ज का आकार ऐसा ही होता है कि तापमान तेजी से एवं स्थिर रूप से नियंत्रित हो सके।
व्यवहार में, इसका अर्थ है कि वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। यह हीटिंग तत्व क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूम वातावरण में भी कार्य कर सकता है; एवं स्थिर अवस्था में आने के बाद यह कोई कण भी नहीं उत्पन्न करता। पुनरावृत्ति क्षमता भी बेहतरीन है… क्योंकि प्रत्येक यूनिट का कैलिब्रेशन बहुत ही सटीक रूप से किया जाता है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में, बेकिंग प्रक्रिया के दौरान ही विलायक निकल जाता है, एवं पॉलिमर स्थिर रहता है। हमारे क्वार्ट्ज हीटिंग तत्व के कारण वेफर का तापमान स्थिर रहता है… इसलिए हर बार एक ही तरह का परिणाम प्राप्त होता है।
यह स्थिरता ही त्रुटियों को कम करती है, एवं उत्पादन क्षमता को बनाए रखती है। साथ ही, यह हीटिंग तत्व 24/7 कार्य कर सकता है… क्योंकि इसमें कोई तापमान-परिवर्तन नहीं होता, एवं कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। इससे दक्षता भी बढ़ जाती है।
इंस्टॉलेशन संबंधी जानकारी
इंस्टॉलेशन के दौरान सटीक यांत्रिक संरेखण आवश्यक है… एवं हीटिंग तत्व की विद्युत-संगतता भी जरूरी है। हीटिंग तत्व यांत्रिक तनाव के प्रति संवेदनशील है… इसलिए इसकी स्थापना ऐसे ही की जानी चाहिए कि कोई माइक्रो-क्रैक न बने।
प्रारंभिक बेकिंग प्रक्रिया के दौरान धीरे-धीरे तापमान बढ़ाना आवश्यक है… ताकि क्वार्ट्ज स्थिर हो सके, एवं कोई कण न उत्पन्न हो। यदि सब कुछ सही तरीके से किया जाए, तो यह हीटिंग तत्व हजारों घंटों तक कार्य कर सकता है… एवं तापमान-नियंत्रण भी बना रहेगा।