फैब्रिकेशन प्लांट में, फोटोरेजिस्ट को “सॉफ्ट बेक” करते समय थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन होने से लाइनों की चौड़ाई में बदलाव हो जाता है; इसके कारण बहुत सारे उत्पाद बर्बाद हो जाते हैं। केमिकल कैबिनेटों में उपयोग होने वाले हीटर, केवल आराम हेतु ही नहीं, बल्कि प्रक्रिया के लिए भी आवश्यक हैं… ऐसे हीटर, प्रत्येक वेफर पर लगने वाले तापमान को नियंत्रित करते हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम ऐसे हीटरों को क्वार्ट्ज आवरण के अंदर स्थित शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों के उपयोग से बनाते हैं… इससे तेज़ प्रतिक्रिया एवं स्थिर ऊष्मा-स्थानांतरण संभव होता है। लक्ष्य है कि वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे… और जब उत्पादन प्रक्रिया बदलती है, तब भी तापमान स्थिर रहे।
फोटोरेजिस्ट को “प्री-बेक” एवं “हार्ड बेक” करते समय तापमान को नियंत्रित रखने हेतु विशेष उपाय किए जाते हैं… इससे प्रत्येक बैच में ऊष्मा-स्तर स्थिर रहता है। यह सिस्टम “क्लीनरूम क्लास 1–100” के मानकों के अनुरूप है… इसमें सील्ड जॉइंट्स एवं कम गैस-निकास वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है… ताकि कणों की संख्या कम रहे। “शून्य कणों का उत्पादन” कोई वादा नहीं, बल्कि डिज़ाइन की आवश्यकता है… इसकी जाँच हम “इन-सीटू मॉनिटरिंग” के माध्यम से करते हैं।
यह क्यों काम करता है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में तापमान को बहुत ही सटीक रूप से नियंत्रित करना आवश्यक है… ऐसे हीटर, फोटोरेजिस्ट एवं अन्य सामग्रियों के तापमान को स्थिर रखते हैं… इससे लाइनों की चौड़ाई में भिन्नता कम हो जाती है, जिससे उत्पादन में वृद्धि होती है। तेज़ तापमान-प्रतिक्रिया के कारण बेकिंग प्रक्रिया में समय कम लगता है… ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि ऊष्मा केवल आवश्यक समय पर ही दी जाती है… विश्वसनीयता का मापन 24/7 के संचालन से होता है… ऐसे ही घटकों का उपयोग किया जाता है, ताकि कोई अप्रत्याशित बाधा न आए।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
इन हीटरों की स्थापना करते समय, कैबिनेट के आकार एवं वेंटिलेशन प्रणाली को फैब्रिकेशन प्लांट की हवा-प्रवाह एवं कंपन-संबंधी आवश्यकताओं के अनुरूप रखना आवश्यक है… कुछ रासायनिक सामग्रियों के लिए हीटरों की सतहों एवं सीलों के साथ संगतता आवश्यक है… इसलिए हम सामग्रियों का चयन करते समय संगतता-मैट्रिक्स भी प्रदान करते हैं।
स्थापना की प्रक्रिया बहुत ही तेज़ है… PID लूपों को समायोजित करके ऑपरेटिंग पॉइंट पर तापमान-समानता की जाँच की जाती है… एक बार यह सेट हो जाने के बाद, प्रक्रिया लगातार दोहराई जा सकती है।