
ייבוש שבבי MEMS ללא בעיות
כשמייבשים שבבי חיישני MEMS, בעצם מדובר במשחק בעל סיכון גבוה – יש לוודא שהחיישן לא יינזק. יש צורך להוריד את הלחות, אך אי אפשר להשאיר שום לכלוך, ובוודאי שאי אפשר להפעיל לחץ מכני על השבב כדי שהוא לא ייעוות.
לכן אנו משתמשים בחיממים באור אינפרא-אדום באורך גל קצר. במקום לנסות להפעיל אוויר חם סביב השבב (שיטה של התרחבות תרמית), אור האינפרא-אדום משתמש בקרינה. זו שיטה ישירה יותר – אנו פונים ישירות למולקולות המים על פני השטח של השבב ומבקשים מהן לזוז.
ניקוי התהליך
שיטות הייבוש המסורתיות הן בדרך כלל מסובכות. יש צורך להשתמש בחומרים כימיים מסוכנים, או במערכות אוויר חזקות שצורכות הרבה אנרגיה וגורמות לדליפת חומרים מזהמים.
אור האינפרא-אדום שונה. זו שיטה “יבשה” – אין דליפות של חומרים כימיים, אין צורך בקטליזטורים המבוססים על עופרת – רק אור וחום.
והדבר הנהדר הוא שאנו מכוונים את החום לאזורים הספציפיים בהם נמצאות מולקולות המים. אנו לא מבזבזים אנרגיה על חימום החדר או המסגרת המתכתית של המכשיר. אנו מחממים רק את החלקים שצריך לחמם. זו שיטה יעילה יותר, וגם ידידותית יותר לסביבה.
איזון התהליך
זה לא קסם… כדי שהמים יתאדו במהירות, אנו משתמשים בנורות קוורץ בעלות הספק גבוה. הן מספקות חום מיידי לשבב.
אך כוח זה הוא חרב פיפיות – אם הזמן אינו מדויק, עלולים להינזק המבנים של ה-MEMS או קרום החיישן. זו פעולה עדינה מאוד. כדי למנוע תקלות, יש צורך בבקר PID אמין, ובמנגנונים שסוגרים את המכשיר מיד לאחר שהעבודה הסתיימה.
חיסכון במקום במעבדה
אחד היתרונות הגדולים הוא החיסכון במקום. מכיוון שאנו לא משתמשים בצינורות ענקיים או במאווררים גדולים, תחנת הייבוש נהיית קטנה יותר. ניתן למקם את מערכת החימום ממש מעל השבב. זה הופך את כל המכשיר לקטן יותר, ומקל על ניהול חדר הניקוי. זו גם דרך יעילה יותר לחסוך באנרגיה, מבלי להאט את קצב הייצור. זו פשוט דרך יותר חכמה לבנות מכשירים.