בחדר הייצור, כמות של מיקרום אחד של לחות על גבי סרט ההפרדה של הסוללה יכולה לגרום לקצר בין התאים, וכתוצאה מכך להרס של כל הסוללה. יש לעבוד בסביבה ברמת ניקיון של Class 100, והתהליך התרמי חייב להיות חוזר על עצמו – כמו במדידות מדויקות, ולא כהערכה כללית. אופני החימום הרגילים לא אמינים; פרופילי החימום משתנים, ומספר החלקיקים עולה. זו אינה סיכון שאפשר לקחת.
מה חשוב מבחינה טכנית? בנינו מכשיר לייבוש סרטי ההפרדה על פי עקרונות התעשייה של החצאי-מוליכים: יש לשמור על אחידות הטמפרטורה על פני הסרט בטווח של ±0.1°C, ולהשתמש בחימום באמצעות אור NIR, כדי לייבש את הסרט במהירות, מבלי לפגוע בפני השטח של הפולימר. החדר בו נעשה החימום צריך להיות תואם לסטנדרטים של חדרי ניקיון מרמה 1 עד 100, עם חזיתות מלוטשות וחומרים שמפחיתים את ייצור החלקיקים לאפס. שליטה מדויקת בתהליך החימום מאפשרת קצבי אידוי אחידים וממדים יציבים של הסרט. ניתן להפעיל את המכשיר 24/7, ותחזוקה יעילה מונעת זמני עצירה בלתי צפויים, תוך שמירה על זמני טיפול אחידים.
למה זה עובד בפועל? אין צורך בהרפתקאות – צריך רק אחידות. המכשיר הזה שומר על אחידות הטמפרטורה, כך שהחימום יהיה אחיד בכל סדרת ייצור. אחידות גבוהה מפחיתה פגמים בקצוות הסרט, משפרת את התפוקה, ומקצרת את זמני החימום. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהאור NIR מחמם את הסרט ישירות, ולא את כל החדר. בתהליכי ליתוגרפיה, אותה דיוק מאפשר שמירה על ממדים יציבים והפחתת פגמים.
על מה צריך לשים לב? לחימום באמצעות אור NIR נדרשת קשר ראייה בין האור לבין הסרט, וכן שליטה ברמת הקרינה. אם הסרט כולל חומרים מחזירי אור, יש צורך בתכנית חימום מיוחדת. ההתקנה בחדרי ייצור חדשים היא פשוטה. אך בהתקנה בחדרים קיימים, יש צורך במערכות חימום ופינוי אדים שתואמות לסטנדרטים של חדרי ניקיון, וכן באסטרטגיות לטיפול באדים של חומרים מסיסים. יש לתכנן תהליך הרצה קצר כדי לקבוע את אזורי החימום האופטימליים. לאחר הכיול, המכשיר יפעל באופן אחיד, כמו בתהליכי חימום של שבבים.