בסביבת הייצור, תהליך האפייה של החומרים אינו סתם שלב נוסף בתהליך הייצור – זו דרך לשלוט בתנאים התרמיים. שינוי של 1 מעלה צלזיוס במהלך עיבוד הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים, להיווצרות פגמים, ואף לבזבוז של כל המוצרים שיוצרו. לכן פיתחנו את מערכת הבקרה הדיגיטלית לייבוש באמצעות אינפרא-אדום, כדי להפחית את הסיכונים התרמיים האלו.
מה חשוב מבחינה טכנית? המערכת משתמשת בחיישן אינפרא-אדום בעל מעגל סגור, יחד עם מקור אור בעל תגובה מהירה, כדי לשמור על ערך טמפרטורה קבוע, בדיוק של ±0.1 מעלה צלזיוס, בכל חלקי הוואפר. כך ניתן לקבל תוצאות אפייה חוזרות ונשנות, והבקרה על קצב האידוי של החומרים מושגת בצורה אפקטיבית – ללא בעיות.
המערכת מתאימה לתנאי חדרי ניקיון מסוג 1–100: אין ייצור של חלקיקים, והמערכת פועלת ללא הפסקות, 7×24 שעות ביממה. תוחלת החיים של המערכת עולה על 50,000 שעות.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה? בתהליך הליתוגרפיה ועיבוד הפוטורזיסט, האיכות של המוצרים תלויה בשליטה בתנאים התרמיים. המערכת הזו מאפשרת שליטה יעילה בטמפרטורה בנקודות החשובות ביותר – על הוואפר – כך שניתן לשלוט בממדים הקריטיים של המוצרים בצורה יעילה.
החזרתיות של המערכת מקצרת את זמן הייצור ומפחיתה את הצורך בעבודות תיקון. בנוסף, היעילות האנרגטית של המערכת מפחיתה את עלויות הייצור לכל מוצר. התוצאה היא תוצאות אחידות, פחות מוצרים שנזרקים, וקצב ייצור אמין.
הפרטים שהופכים את זה אפשרי: ההתקנה של המערכת פשוטה, אך החיבור התרמי הוא קריטי. יש להתקין את מקור האור בצורה שתתאים לגאומטריה של הוואפר וליכולת הפליטה של החומרים. אחרת, המערכת לא תוכל לשלוט בתנאים התרמיים. יש לתכנן נכון את החיבורים החשמליים ואת החיבור לקרקע, כך שהמערכת תפעל כראוי. אם נעשה זאת כראוי, המערכת תפעל יום אחר יום, משמרת אחר משמרת.