V prostředí litografie není vzdálenost mezi světlem a polovodičovou destičkou jen drobným detailem – jedná se o parametr, který je potřeba správně nastavit. Pokud ho uvedete příliš blízko, hrozí termický kolaps, uvolňování látek z fotorezistoru a nárůst počtu částic. Pokud ho naopak uvedete příliš daleko, budete muset použít více energie, prodloužit dobu zahřívání a to zase zvyšuje dobu celého procesu. Naše topné moduly jsou navrženy tak, aby tato vzdálenost byla dodržována – tato vzdálenost je považována za klíčový parametr při řízení procesu.
Používáme krátkovlnné infračervené světlo s kvartovým halogenovým zdrojem a emitorem posíleným uhlíkovými vlákny. To umožňuje rychlou reakci na změny teploty s nízkou tepelnou hmotností. V aktivní oblasti zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Opakovatelnost je zajištěna pomocí pyrometrie v referenčním bodě na teplé desce. Platforma je vhodná pro čisté prostory třídy 1–100. Materiály a úpravy jsou vybrány tak, aby během zahřívání nevznikaly žádné částice. Profily měkkého a tvrdého zahřívání zůstávají v mezích specifikací, protože teplota zůstává stabilní, i během otvírání dveří a výměny destiček.
Výsledkem je predikovatelné chování kritických rozměrů, snížení množství nežádoucích produktů a menší počet oprav. Spotřeba energie klesá, protože zdroj se ohřívá podle potřeby a rychle chladne – bez zbytečného zahřívání. Spolehlivost se projevuje v údajích o provozní době: máme zařízení, která fungují více než 5 000 hodin s odchylkou výstupu menší než 5 %, a žádné neočekávané přerušení provozu spojené s topným modulem.
Modul je kompaktní, ale stále je potřeba prostor pro proudění vzduchu a údržbu. Plánujte 200 mm na straně vstupu vzduchu. Integrace je jednoduchá díky standardním spojům a 24 V spojnicím, ale kontrolní profil musí odpovídat vašemu uspořádání fotorezistorů a substrátů. Nastavení modulu trvá krátce – stačí doladit parametry PID a kompenzaci emisivity podle vašich požadavků.