V prostředí lithografie může i malá změna teploty o půl stupně narušit kritické rozměry a způsobit zkazení celé série výrobků. Termální rozsah není něco, s čím lze jednat. Vyvinuli jsme tento soket pro infračervené zdroje určené k použití v zařízeních na zpracování polovodičových desek – aby teplota procesu zůstala přesně tam, kde má být, v pravý čas a u každé desky.
Co je důležité pod kapotou
Pokud spojíte tento soket s emitery krátkovlnného nebo střednovlnného INFRAČERVENÉHO záření, získáte rychlé a efektivní ohřev. Mluvíme o rovnoměrnosti teploty na úrovni polovodičových desek v rozsahu ±0,1 °C v celé oblasti ohřevu – to zajišťuje opakovatelnost procesů. Výstupní teplota zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylka intenzity záření je nižší než 5 %.
Kvartový povrch a keramické tělo s vysokou čistotou byly navrženy pro čisticí místnosti třídy 1–100 – takže počet částic nezvyšuje a neproniká do procesní komory. Z hlediska elektřiny podporuje tento soket napětí 200–240 V AC, má konektory vhodné pro daná zařízení a integrovanou ochranu proti elektromagnetickým rušením. Termální systém zůstává stabilní a snadno ovladatelný.
Proč to funguje v reálných zařízeních na zpracování polovodičových desek
V těchto zařízeních musí teplo dorazit rychle a poté zůstat konstantní. Tento soket umožňuje rychlé dosažení požadované teploty bez nadměrného nárůstu teploty, takže parametry fotorezistů zůstávají v normě od první desky po poslední. To vede k menším odchylkám, vyšší produktivitě a předvídatelným intervalům údržby.
INFRAČERVENÉ záření je efektivní – větší část energie se tak přemění na teplo na samotné desce, místo aby byla plýtvána v rámci zařízení. Můžete provádět procesy s tisíci desekami bez neplanovaných přerušení kvůli termálním odchylkám soketu.
Praktické detaily
Přesnost montáže je velmi vysoká – emitor, soket a reflektor musí být zarovnány v rozsahu 0,2 mm, jinak se rovnoměrnost teploty zhorší. Při maximální výkonu může teplota těla soketu dosáhnout více než 600 °C – proto je potřeba udržovat odstup od blízkých polymerů a kabelů.
Používejte specifikované termální spoje a šrouby vhodné pro čisticí místnosti. Po instalaci proveďte měření rovnoměrnosti teploty. Soket funguje s většinou ovladačů zařízení, ale možná budete potřebovat kalibraci, abyste dostali správné hodnoty z pyrometru.