V provozu továrny není proces sušení pomocí infračerveného záření jen dalším krokem v výrobním procesu. Jedná se o klíčový okamžik – odchylka o 1 °C během zpracování fotorezistu může vést ke změnám velikosti pruhů na destičce, ke vzniku vad a dokonce k zničení celé série výrobků. Vytvořili jsme kontrolér pro digitální infračervené sušičky právě proto, abychom tento tepelný riziko odstranili.
Co je z technického hlediska důležité
Kontrolér využívá senzor typu NIR s uzavřenou smyčkou spolu s emiterem s rychlou odezvou, aby bylo možné udržet požadovanou teplotu s přesností ±0,1 °C na celé ploše destičky. Díky tomu získáte reprodukovatelné profily sušení fotorezistu. Kontrola náběhu teploty zároveň zachovává správnou dynamiku odpařování rozpouštědel – bez vzniku problémů spojených s povrchovým odpařováním.
Systém je vhodný pro použití v čistých prostorách: kompatibilní s normami tříd 1–100, bez vzniku částic a s nízkou mírou uvolňování plynů. Systém funguje 24/7, bez neplanovaných přestávek během vícesměnného provozu, a jeho životnost přesahuje 50 000 hodin.
Proč to funguje v litografii
V litografii a zpracování fotorezistu závisí kvalita výrobků na správné kontrole teploty. Tento kontrolér stabilizuje teplotu právě tam, kde je to nejdůležitější – na samotné destičce. Díky tomu je možné předvídat velikost kritických rozměrů, místo toho, abychom reagovali až po vzniku problémů.
Reprodukovatelnost zkracuje dobu kalibrace a snižuje množství oprav. Energetická efektivita zase snižuje náklady na výrobu každé série výrobků. Výsledkem jsou konzistentní profily sušení, méně zničených sérií výrobků a spolehlivý výkon, který můžete spoléhat.
Detaily, které to umožňují
Instalace je jednoduchá, ale tepelné spojení je velmi důležité. Emitter musí být umístěn tak, aby odpovídal geometrii držáku a emisivitě nosiče. Jinak by smyčka nemohla efektivně pracovat kvůli odrazům a teplotním zpožděním.
Je potřeba správně naplánovat zapojení a uzemnění tak, aby odpovídalo charakteristikám vašeho zařízení. Profil kontroléru musí také odpovídat specifikacím procesu sušení fotorezistu. Pokud tyto detaily zvládnete správně, jednotka bude fungovat den za dnem, směnu za směnou.