মেমস সেন্সর ওয়েফারগুলোকে কোনো সমস্যা ছাড়াই শুকিয়ে নেওয়া যায়।
যখন আপনি মেমস সেন্সর ওয়েফারগুলোকে শুকিয়ে নেন, তখন আপনি আসলে “সেন্সরটিকে নষ্ট না করার” জন্য একটি কঠিন চ্যালেঞ্জ মোকাবেলা করছেন। ওয়েফার থেকে আর্দ্রতা দূর করা দরকার; কিন্তু কোনো ধরনের অশুদ্ধি থাকা উচিত নয়। আর ওয়েফারে অতিরিক্ত চাপ দিলে এটি বিকৃত হয়ে যেতে পারে।
এজন্যই আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (IR) হিটার ব্যবহার করি। গরম বাতাস ব্যবহার করার পরিবর্তে, IR বিকিরণ ব্যবহার করে। এটা আরও কার্যকর উপায়। আমরা ওয়েফারের পৃষ্ঠে থাকা জলের অণুগুলোকে সরানোর চেষ্টা করি।
প্রক্রিয়াটি সহজ করা
পুরানো পদ্ধতিতে ওয়েফারগুলো শুকানো খুবই জটিল। এখানে হয় বিষাক্ত রাসায়নিক পদার্থ ব্যবহার করতে হয়, অথবা অত্যন্ত শক্তিখাওয়া বায়ু ব্যবস্থা ব্যবহার করতে হয়। আর IR পদ্ধতিতে কোনো রাসায়নিক পদার্থ ব্যবহার করা হয় না; শুধুমাত্র আলো ও তাপ ব্যবহার করা হয়।
আর এখানেই আরও ভালো ব্যাপার হলো: আমরা জলের নির্দিষ্ট শোষণ ব্যান্ডগুলোকে লক্ষ্য করি। আমরা ভ্যাকুয়াম চেম্বার বা যন্ত্রের ধাতব অংশগুলোকে গরম করার জন্য বিদ্যুৎ অপচয় করি না। আমরা শুধুমাত্র সেই অংশগুলোকেই গরম করি যেগুলো গরম হওয়া দরকার। এটা খুবই কার্যকর ও পরিবেশ-বান্ধব উপায়।
ভারসাম্য বজায় রাখা
কিন্তু এটা সম্পূর্ণ জাদু নয়। জলকে দ্রুত বাষ্পীভূত করতে আমরা উচ্চ-ওয়াটেজের কোয়ার্টজ ল্যাম্প ব্যবহার করি। কিন্তু এই শক্তি দ্বিধাত্মক হতে পারে। যদি সময়টা কয়েক সেকেন্ড ভুল হয়, তাহলে মেমস সেন্সরগুলো নষ্ট হয়ে যেতে পারে। তাই পরিস্থিতিকে নিয়ন্ত্রণে রাখা জরুরি। এর জন্য দরকার একটি নির্ভরযোগ্য PID কন্ট্রোলার ও শাটার, যা কাজ শেষ হওয়ার সাথে সাথেই বন্ধ হয়ে যায়।
ল্যাবরেটরিতে জায়গা সাশ্রয়
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো: আমরা বড় ধরনের ডাক্ট বা ব্লোয়ার ব্যবহার করি না। ফলে ড্রায়িং স্টেশনটি ছোট হয়ে যায়। আমরা হিটিং অ্যারেটিকে ওয়েফার ক্যারিয়ারের ঠিক উপরে রাখতে পারি। এর ফলে পুরো যন্ত্রটি ছোট হয়ে যায়। এছাড়া ক্লিনরুমটিও সহজেই পরিচালনা করা যায়। আর এভাবে উৎপাদন প্রক্রিয়া ধীর হয় না। এটা একটি অত্যন্ত কার্যকর উপায়।