লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, মাত্র অর্ধ ডিগ্রির তাপমাত্রা-পরিবর্তনও গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলোকে বিঘ্নিত করে দেয়; ফলে পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়াটিই ব্যর্থ হয়ে যেতে পারে। তাপীয় নিয়ন্ত্রণ হলো এমন কিছু যা নিয়ে আলোচনা করা যায় না। আমরা ওয়েফার টুলগুলোর জন্য এই ইনফ্রারেড ল্যাম্প সকেটগুলো তৈরি করেছি; যাতে প্রক্রিয়ার তাপমাত্রা ঠিক নির্ধারিত মাত্রায় থাকে—প্রতিটি ওয়েফারের ক্ষেত্রেই।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
শর্ট-ওয়েভ বা মিডিয়াম-ওয়েভ NIR এমিটারগুলোর সাথে এই সকেটগুলো ব্যবহার করলে দ্রুত ও নির্ভুলভাবে তাপ সরবরাহ করা যায়। ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রার ভিন্নতা মাত্র ±0.1°C হয়; এটাই সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলোকে নিয়ন্ত্রণে রাখে। 5,000+ ঘন্টা ধরেও আউটপুটটি স্থিতিশীল থাকে; তাপমাত্রার পরিবর্তন 5% এর কম থাকে।
কোয়ার্টজ ইন্টারফেস ও উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিরামিক উপাদানগুলো
ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমগুলোর জন্যই এগুলো ডিজাইন করা হয়েছে; যাতে কণাগুলো প্রক্রিয়া চেম্বারে প্রবেশ না করে। বৈদ্যুতিকভাবে, এটি 200–240 VAC ইনপুটকে সমর্থন করে; টুল-সামঞ্জস্যপূর্ণ কানেক্টর ও ইন্টিগ্রেটেড EMI শিল্ডিংও রয়েছে। তাপীয় লুপটি নিয়ন্ত্রণযোগ্য থাকে।
কেন এটি ওয়েফার টুলগুলোতে কার্যকর?
ওয়েফার টুলগুলোতে তাপ দ্রুত ও স্থিতিশীলভাবে সরবরাহ করা প্রয়োজন। এই সকেটগুলো দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছায় এবং সেখানেই থাকে; ফলে প্রতিটি ওয়েফারের ক্ষেত্রেই ফটোরেসিস্ট প্রোফাইলগুলো নির্ধারিত মানেই থাকে। এর ফলে কম ত্রুটি হয়, উৎপাদন বৃদ্ধি পায়, এবং রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও কম লাগে।
NIR এর কার্যকারিতা
NIR দ্বারা শক্তি দক্ষভাবে ব্যবহৃত হয়; ফলে বেশিরভাগ শক্তিই ওয়েফারে তাপ হিসেবে পরিণত হয়। ফলে ল্যাম্প-সকেটের তাপীয় পরিবর্তনের কারণে অপ্রয়োজনীয় বন্ধ হওয়ার ঘটনা কম হয়।
ব্যবহারের নির্দেশাবলী
মাউন্টিংয়ের ক্ষেত্রে খুব সঠিকতা প্রয়োজন। এমিটার, সকেট ও রিফ্লেক্টরগুলোকে 0.2 মিমির মধ্যে সারিবদ্ধ রাখতে হবে; নইলে সমানতা নষ্ট হয়ে যাবে। সর্বোচ্চ শক্তিতে সকেটটি 600°C এরও বেশি তাপমাত্রায় কাজ করতে পারে; তাই আশেপাশের পলিমার ও কেবলগুলো থেকে দূরে রাখতে হবে।
নির্ধারিত থার্মাল ইন্টারফেস ও ক্লিনরুম-সঙ্গত ফিক্সচারগুলো ব্যবহার করুন; ইনস্টলেশনের পর বেসলাইন ইউনিফর্মিটি ম্যাপ তৈরি করুন। এই সকেটগুলো বেশিরভাগ টুল কন্ট্রোলারের সাথে কাজ করে; কিন্তু পাইরোমিটারের পাঠগুলোর সাথে মিল রাখতে ক্যালিব্রেশন প্রয়োজন হতে পারে।