في قسم التصنيع، يتم تحديد مستوى الجودة بدرجات معينة. فإذا اختلفت درجة حرارة الخبز، فإن ذلك سيؤدي إلى عدم انتظام سمك الطبقة الموجودة على الرقاقة. أما في عملية الأكسدة، فإن وجود مناطق باردة يؤدي إلى عدم استقرار طبقة الأكسيد الموجودة على الرقاقة. لذلك، صممنا عناصر التسخين المستخدمة في عملية الأكسدة بحيث تتمكن من التغلب على هذه المشاكل، لأنه من الضروري الحفاظ على درجة الحرارة تحت السيطرة في المناطق الحرجة.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أشعة تحت الحمراء ذات الموجة القصيرة، مع جهاز إصدار الإشعاع القادر على الاستجابة بسرعة، ويتم تصميم هذا الجهاز بحيث يتناسب مع قطر الرقاقة وحجم الأداة المستخدمة. في جميع أنحاء الرقاقة، تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن التحكم في درجة الحرارة يتم بشكل دقيق، مما يضمن استقرار خصائص الرقاقة من دفعة إلى أخرى. كما أن المواد المستخدمة خالية من الغازات الضارة، وتتميز بتصميم يقلل من الجسيمات الضارة، مما يسمح باستخدامها في بيئات من الفئة 1 إلى 100. تظل الخصائص الفنية للرقاقة مستقرة لمدة تزيد عن 5,000 ساعة، مع انحراف لا يتجاوز 5%.
لماذا يعمل هذا النظام في الإنتاج؟ في عملية الطباعة الضوئية، يتم تحديد مستوى إزالة المذيبات وضغط الطبقة الموجودة على الرقاقة من خلال درجة حرارة الخبز. ومع استخدام هذا الجهاز، يتم توزيع الطاقة بشكل سريع ومتساوٍ، مما يؤدي إلى تصلب الطبقة الموجودة على الرقاقة بشكل متساوٍ. كما أن استخدام هذا الجهاز يساعد في تحسين دقة توزيع سمك طبقة الأكسيد، ويقلل من الحاجة إلى إعادة المعالجة. كما أن استخدام الطاقة يقل، لأن الحرارة تذهب إلى المكان الذي يحتاجها، ولا تُستخدم لتسخين كتل زائدة. ويظهر ذلك في قلة الأعطال وانخفاض وقت التوقف غير المخطط له.
التفاصيل العملية التي يجب الانتباه إليها: يمكن أن تؤدي الاختلافات في معدلات التركيب والانبعاثات الحرارية على الرقاقات المغطاة إلى تغييرات في تدفق الحرارة، لذا يجب استخدام خرائط حرارية لتحديد درجة الحرارة على الرقاقات، وعدم الاعتماد على مؤشرات بسيطة. كما يجب أن يكون الجهاز موصولًا بمصدر طاقة نظيف وجاف، ويجب أن يكون مثبتًا بشكل جيد؛ فإذا لم يتم تثبيته بشكل صحيح، فسوف يؤدي ذلك إلى عدم انتظام درجة الحرارة. يجب أيضًا تخطيط لفترة تجريبية قصيرة لضبط معدلات التسخين وأوقات البقاء في درجة الحرارة المطلوبة، بناءً على خصائص الرقاقة المحددة.