将热量精准地传递到需要的地方 在晶圆制造厂中，单纯增加功率并不是解决问题的方法。如果直接用大量能量来解决问题，那只会浪费能源。真正的关键在于如何引导那些光子。 因此，我们使用镀金石英罩。可以把它们看作镜子，它们能阻止热量渗入机器内部，而是让热量反射回到晶圆上。 为什么要用黄金？ 普通的石英会让红外...

在300毫米光刻机中，哪怕温度只有几分之一度的变化，都足以导致关键尺寸控制失准。因此，加热器必须保持清洁，并且能够稳定地维持设定温度，这一点在每一批次的生产过程中都至关重要。 真正重要的因素 我们使用高纯度石英来制造加热元件，以此将气体释放和金属污染降到最低。石英材料的形状设计有助于实现快速、稳定...