掺杂活化红外加热器

在生产车间，掺杂剂活化过程中温度偏差0.5°C 就足以使片阻超出规格，将整批晶圆报废。我们设计的掺杂剂活化红外加热器正是为消除此风险而打造。 关键技术细节 我们采用短波红外卤素发射器，安装在石英组件中，能量直接作用于晶圆，响应时间低于一秒。工艺区域内，晶圆级均匀性控制在±0.1°C，批次间重复性优...