http://ir-heat-global.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Global Infrared Heating Systems Hugo zh Sat, 11 Jul 2026 09:12:33 +0800 http://ir-heat-global.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sat, 11 Jul 2026 09:12:33 +0800 http://ir-heat-global.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损伤<br> 在干燥MEMS传感器晶圆时，实际上就是在玩一场“不能损坏传感器”的高风险游戏。必须彻底去除水分，但同时不能留下任何杂质，更不能给晶圆施加过大的机械应力，以免使其变形。</p>