http://ir-heat-global.com/zh/tags/%E5%AE%9E%E9%AA%8C%E5%AE%A4/ Recent content in 实验室 on Global Infrared Heating Systems Hugo zh Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/zh/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/zh/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="高温炉用于制作实验室"></p> <p>在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——它是热预算。软烤或硬烤阶段的温度漂移2℃，就会破坏关键尺寸的控制，<a href="https://goldisgood.com">同时带来光</a>刻缺陷。我们基于红外加热设计了高温晶圆厂实验室炉，调整加热使热场均匀性达到亚毫米级。其回报是在晶圆上实现温度曲线的可重复性，批次之间保持稳定一致。</p> <p><strong>技术要点</strong><br> 我们使用近红外（NIR）加热，将热量直接施加于工艺表面，避免热滞后和冷点成为潜在变数。这样确保热场稳定且重复，实现更严格的工艺窗口。洁净室1–100级兼容性体<a href="https://henruite.com">现在设计中</a>：气流路径、密封及腔体材料均选用以将粒子产生降至最低。在生产环节，这转化为更少的次品和返工。</p>