http://ir-heat-global.com/vi/tags/k%C3%ADch-ho%E1%BA%A1t/ Recent content in Kích Hoạt on Global Infrared Heating Systems Hugo vi Tue, 09 Jun 2026 03:50:58 +0800 http://ir-heat-global.com/vi/posts/dopant-activation-infrared-heater/ Tue, 09 Jun 2026 03:50:58 +0800 http://ir-heat-global.com/vi/posts/dopant-activation-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Bộ gia nhiệt hồng ngoại kích hoạt tạp chất"></p> <p>Trên sàn fab, một sự thay đổi 0.5°C trong quá trình kích hoạt dopant đủ để đẩy điện trở bề mặt ra ngoài thông số kỹ thuật và biến toàn bộ lô thành phế liệu. Chúng tôi đã xây dựng máy sưởi hồng ngoại cho quá trình kích hoạt dopant để loại bỏ rủi ro đó.</p> <p><strong>Những điều thực sự quan trọng bên trong</strong> Chúng tôi sử dụng bộ phát hồng ngoại halogen sóng ngắn trong một cụm thạch anh, truyền năng lượng trực tiếp vào wafer với phản ứng dưới một giây. Trên toàn bộ vùng quy trình, tính đồng nhất ở mức wafer giữ ở ±0.1°C, và khả năng lặp lại tốt hơn ±0.2°C giữa các lô. Kiểm soát vòng kín điều khiển hồ sơ nhiệt độ, đảm bảo ngân sách nhiệt luôn chặt chẽ—không có vượt quá, không có trôi nhiệt. Tính tương thích với phòng sạch được tích hợp trong thiết kế: vật liệu phát thải thấp, bề mặt mịn, và đường dẫn không khí nhận biết hạt giữ số lượng hạt trong phạm vi Class 1–100. Đầu ra giữ ổn định trong hơn 5,000+ giờ với mức giảm cường độ dưới 5%, và thiết bị sưởi được thiết kế cho hoạt động 24/7—các khoảng thời gian bảo trì đã lên kế hoạch, không có thời gian ngừng hoạt động bất ngờ.</p>