http://ir-heat-global.com/uk/tags/%D1%81%D1%83%D0%BC%D1%96%D1%81%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Сумісний on Global Infrared Heating Systems Hugo uk Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/uk/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/uk/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Вакуумний інфрачервоний нагрівач"></p> <p>На підлозі літорафії все зрозуміло: відхилення температури випікання на півградуса – і ваш CD починає «блукати». Одна частинка – і ви списуєте не лише пластину. Ви запускаєте soft bake і hard bake один за одним, потім чистите та сушите — кожен етап додає тепловий бюджет. Якщо нагрівач починає працювати гірше, вихід продукції падає ще до того, як метрологоія це зафіксує.</p> <p><strong>На що ми зосередилися технічно</strong><br> Ми створили вакуумоздатний інфрачервоний нагрівач на основі короткохвильових NIR елементів і кварцової оптики, щоб енергія швидко і безпосередньо потрапляла на пластину. По всьому чаку рівномірність на рівні пластини утримується в межах ±0.1°C, а повторюваність забезпечує система зворотного зв’язку з каліброваним сенсором, прив’язаним до NIST. Інтерфейс камери оснащений фланцями CF/ISO-K, корпус розроблений для використання в чистих приміщеннях класу 1–100 із підтвердженим відсутністю генерації частинок за допомогою in-situ підрахунку. Щільність потужності налаштована відповідно до профілів випікання фоторезисту, а тепловий відгук достатньо швидкий, щоб відстежувати кроки рецепту без перерегулювання.</p>