http://ir-heat-global.com/uk/tags/%D0%B2%D0%B0%D1%84%D0%BB%D1%8F/ Recent content in Вафля on Global Infrared Heating Systems Hugo uk Mon, 08 Jun 2026 05:20:31 +0800 http://ir-heat-global.com/uk/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:20:31 +0800 http://ir-heat-global.com/uk/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа нагріву пластини силового пристрою"></p> <p>На виробничому майданчику, зсув температури на 1°C під час софт-бейка змінює профіль фоторезисту. Якщо провести хард-бейк з температурою трохи вищою за норму, після проявлення з’явиться скрамінг. Вайфери силових пристроїв мають великі ділянки і жорсткі теплові обмеження, тому будь-яка термальна неоднорідність проявляється як крайова плівка, неточний контроль розмірів (CD) і втрати виходу, які неможливо списати.</p> <p><strong>Що насправді має значення в роботі</strong></p> <p>Ми конструюємо нагрівач силового вайфера на базі короткохвильових інфрачервоних випромінювачів у кварці — швидке реагування і стабільний вихід. Тепловий профіль утримується в межах ±0.1°C по всьому вайферу, тож софт-бейк і хард-бейк залишаються в межах специфікацій зі зміни на зміну. Система підходить для чистих приміщень класу 1–100, з нульовим утворенням частинок від лампового блоку та герметичною конструкцією з низьким ступенем виділення газів. Повторюваність виходу стабільна понад 5,000 годин роботи, зі зниженням менше ніж на 5%, тому технологічне вікно не зсувається.</p>