http://ir-heat-global.com/ru/tags/%D1%81%D0%BE%D0%B2%D0%BC%D0%B5%D1%81%D1%82%D0%B8%D0%BC%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Совместимый on Global Infrared Heating Systems Hugo ru Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ru/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ru/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Инфракрасный обогреватель совместимый с вакуумом"></p> <p>На литографическом этаже всё понятно: отклонение температуры запекания на полградуса, и размер критического измерения (CD) начинает «гулять». Одна частица — и вы списываете не только пластину. Выполняете мягкое и твёрдое запекание подряд, затем очистку и сушку — каждый этап добавляет тепловой бюджет. Если нагреватель начинает работать хуже, выход годных падает ещё до того, как об этом сигнализирует метрология.</p> <p><strong>Технический фокус</strong></p> <p>Мы разработали вакуум-совместимый инфракрасный нагреватель на базе коротковолновых NIR-элементов и кварцевой оптики, чтобы энергия попадала на пластину напрямую и быстро. По всей поверхности чука однородность температуры на уровне пластины удерживается в пределах ±0,1°C, а повторяемость обеспечивается замкнутым контуром управления с калиброванным датчиком, прослеживаемым до NIST. Интерфейс камеры выполнен с фланцами CF/ISO-K, корпус рассчитан на использование в чистых помещениях класса 1–100, с подтверждённым отсутствием генерации частиц по результатам встроенного подсчёта. Плотность мощности настроена под профили запекания фоторезиста, а тепловой отклик достаточно быстрый, чтобы точно следовать этапам рецепта без превышения температуры.</p>