http://ir-heat-global.com/ru/tags/%D0%BE%D0%B1%D1%80%D0%B0%D0%B1%D0%BE%D1%82%D0%BA%D0%B0/ Recent content in Обработка on Global Infrared Heating Systems Hugo ru Fri, 03 Jul 2026 09:17:44 +0800 http://ir-heat-global.com/ru/posts/why-use-infrared-for-wafer-processing/ Fri, 03 Jul 2026 09:17:44 +0800 http://ir-heat-global.com/ru/posts/why-use-infrared-for-wafer-processing/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Зачем использовать инфракрасное излучение для обработки пластин"></p> <p>На производственной линии термические колебания не только отражаются на графиках — они также снижают качество изделий. Изменение температуры на 2°C во время процесса просушки фоторезиста может свести на нет все усилия, приложенные для правильной литографии. Если во время сушки пластины возникает зона низкой температуры, на поверхности появляются полосы и частицы, которые прилипают к поверхности пластины. Инфракрасное нагревание помогает избежать этих проблем.</p> <p><strong>Что действительно важно с технической точки зрения</strong><br> Инфракрасное излучение направляется туда и в то время, когда это необходимо, без создания чрезмерно высоких температур в камере. Наши излучатели быстро нагревают материал, что позволяет поддерживать стабильную температуру на уровне ±0,1°C по всей поверхности пластины. Создание чистых условий в классе 1–100 возможно благодаря использованию материалов с минимальным выбросом газов и отсутствием частиц. Процессы просушки фоторезиста проходят стабильно, с строгим соблюдением технологических параметров. Система рассчитана на круглосуточную работу с периодическим техническим обслуживанием, что не нарушает график производства.</p>