http://ir-heat-global.com/ru/tags/%D0%BB%D0%B0%D0%B1%D0%BE%D1%80%D0%B0%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B8%D1%8F/ Recent content in Лаборатория on Global Infrared Heating Systems Hugo ru Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/ru/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/ru/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Печь с высокой температурой для лаборатории фабрикации"></p> <p>На производственном этаже сушка фоторезиста — не опция, а часть теплового бюджета. Отклонение температуры на 2°C на этапе мягкой или жесткой сушки разрушит контроль критических размеров и приведёт к возникновению дефектов литографии. Мы построили нашу лабораторную печь для высокотемпературного процесса на базе инфракрасного нагрева, настроенного так, чтобы обеспечить термическую однородность с точностью до долей миллиметра. Результат — повторяемые температурные профили по всей поверхности пластины, партия за партией.</p> <p><strong>Технически важное</strong></p> <p>Мы используем ближний инфракрасный (NIR) нагрев для точного воздействия тепла именно там, где это необходимо — на рабочем процессе. Это исключает тепловые запаздывания и холодные зоны, которые могут стать скрытыми переменными. В итоге получается стабильное, повторяемое тепловое поле, что позволяет работать с более узкими технологическими окнами. Совместимость с чистотой помещения класса 1–100 заложена в конструкцию: потоки воздуха, уплотнения и материалы камеры подобраны так, чтобы свести к минимуму генерацию частиц. С производственной точки зрения это означает снижение количества брака и переработок.</p>