Sensores de temperatura para ferramentas de tratamento de wafers

Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800

Como obter um processo de cura sem chumbo com uso de radiação infravermelha
Se você trabalha com ferramentas para trabalhar com wafers e precisa cumprir as rigorosas exigências ambientais relativas à ausência de chumbo, provavelmente já percebeu que os fornos convencionais não são adequados para esse propósito. Eles são lentos e consomem muita energia.

É por isso que a maioria de nós optou pelo uso de radiação infravermelha para o processo de cura.

Soquete para lâmpada infravermelha para ferramentas de wafer

Tue, 30 Jun 2026 05:24:40 +0800

No processo de litografia, até mesmo uma pequena variação de temperatura de meio grau pode afetar negativamente as dimensões críticas dos wafers, podendo causar a destruição de todo um lote de produtos. O custo térmico não é algo que se possa negociar. Criamos esse suporte para lâmpadas infravermelhas para que a temperatura do processo fique exatamente onde precisa estar – sempre dentro dos limites estabelecidos, em todos os wafers.

O que importa realmente é a uniformidade da temperatura. Ao combinar esse suporte com emissores de luz NIR de onda curta ou média, obtém-se um aquecimento rápido e preciso. A uniformidade da temperatura na área de calorização é de ±0,1°C, o que garante que os perfis de aquecimento sejam consistentes em todos os wafers. A intensidade da luz permanece estável por mais de 5.000 horas, com variações inferiores a 5%.

```Python on Global Infrared Heating Systems

Sensores de temperatura para ferramentas de tratamento de wafers

Soquete para lâmpada infravermelha para ferramentas de wafer