http://ir-heat-global.com/pt/tags/pe%C3%A7as/ Recent content in Peças on Global Infrared Heating Systems Hugo pt Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/pt/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/pt/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Peças do aquecedor de resina para UV extremo (EUV)"></p> <p>No processo de litografia EUV, o aquecimento do revestimento fotoresistente não é apenas mais um passo no processo – é fundamental para o controle térmico. Uma pequena variação na temperatura pode afetar negativamente o controle das dimensões críticas do wafer. Além disso, uma partícula estranha pode destruir todo o wafer. Quando o aquecedor do revestimento fotoresistente não funciona corretamente, isso acaba custando caro em termos de materiais desperdiçados, trabalhos repetidos e tempo de parada indesejado.</p>