Controlador de secador infravermelho digital

Tue, 23 Jun 2026 00:30:58 +0800

Na linha de produção, o processo de secagem do fotoresist não é apenas mais um passo no processo de fabricação. É, na verdade, um ponto crítico no processo. Uma variação de 1°C durante o processamento do fotoresist já é suficiente para causar alterações nas dimensões dos componentes, gerar defeitos e fazer com que todo o lote seja descartado. Por isso, desenvolvemos o Controlador Digital de Secagem por Infravermelho, para eliminar esse risco térmico.

O que é importante, do ponto de vista técnico: O controlador utiliza um sensor NIR de circuito fechado, combinado com um emissor de resposta rápida, para manter a temperatura dentro de uma margem de ±0,1°C em toda a superfície da wafer. Isso permite obter perfis de secagem consistentes para o fotoresist. Além disso, o controle de rampa mantém a velocidade de evaporação do solvente constante, evitando assim problemas relacionados à formação de camadas inconsistentes na superfície da wafer.

Controlador on Global Infrared Heating Systems

Controlador de secador infravermelho digital