Aquecedor infravermelho compatível com vácuo

Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800

No piso de litografia, você sabe como é: uma deriva de meio grau na temperatura de bake e seu CD começa a variar. Uma partícula, e você está descartando mais do que apenas uma pastilha. Você executa soft bake e hard bake em sequência, depois limpeza e secagem—cada etapa avança o orçamento térmico. Se o aquecedor começar a perder desempenho, o rendimento cai antes mesmo da metrologia sinalizar.

No que focamos, tecnicamente
Construímos um aquecedor infravermelho compatível com vácuo ao redor de elementos NIR de onda curta e óptica de quartzo, para que a energia atinja a pastilha diretamente e rapidamente. Ao longo do chuck, a uniformidade no nível da pastilha se mantém dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade é garantida por controle em malha fechada com sensor calibrado rastreável ao NIST. A interface da câmara aceita flanges CF/ISO-K, e o corpo é projetado para uso em sala limpa Classe 1–100, com geração zero de partículas verificada por contagem de partículas in situ. A densidade de potência é ajustada para corresponder aos perfis de bake do fotorevestimento, e a resposta térmica é rápida o suficiente para acompanhar os passos da receita sem ultrapassagem.

Compatível on Global Infrared Heating Systems

Aquecedor infravermelho compatível com vácuo