Wafer on Global Infrared Heating Systems

Evaporatieflux voor wafer bump

Thu, 02 Jul 2026 09:16:15 +0800

Op het gebied van het ‘bumpen’ van chips is het probleem met restanten van het fluxmateriaal geen esthetisch probleem. Het is eerder een probleem dat de kwaliteit van de productie beïnvloedt. Eén koud punt in de verdampingszone zorgt er namelijk voor dat het fluxmateriaal niet goed kan verdampen. De soldeerballen raken dan niet op de juiste plek terecht. Ook kan het reflowproces daardoor worden verstoord. We hebben onze platform voor de verdamping van het fluxmateriaal ontworpen met deze realiteit in gedachten: de thermische omstandigheden moeten perfect zijn, en elke chip moet opnieuw worden verwerkt.

Polyimide hardening voor waferfabriek

Sat, 27 Jun 2026 05:10:46 +0800

Op de productielijn is het droogproces van polyimide geen gewone thermische stap. Het gaat om een belangrijk aspect wat betreft de dimensionele precisie – namelijk de relatie tussen de toleranties en de temperatuurstabiliteit. Als het droogproces niet naar behoren verloopt, ontstaan er spanningen, waardoor de dimensies niet meer precies zijn. Dit heeft gevolgen voor alle stappen in het proces, inclusief de lithografie en de daaropvolgende bewerkingen. Hierdoor gaat niet alleen één lading product verloren, maar ook de beschikbare capaciteit in de schone ruimtes wordt verspild.

Heating element voor waferoxidatie

Thu, 18 Jun 2026 04:36:37 +0800

Op de productielijn wordt de kwaliteit bepaald door nauwkeurige temperatuurcontrole. Als de baktemperatuur niet constant is, leidt dat tot oneffenheden in de dikte van de laag die wordt gevormd. Een te lage temperatuur tijdens het oxidatieproces zorgt voor een instabiele laag op het silicium. We hebben onze verwarmingselementen zo ontworpen dat ze deze problemen kunnen voorkomen – want de thermische controle moet op alle plekken waar het nodig is nauwkeurig zijn.

Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kortegolflengte-infraroodlicht, uitgestraald door kwartsemitters met een snelle respons. De afmetingen van deze emitters zijn aangepast aan de diameter van de siliciumplaten en de afmetingen van de apparatuur. Over het hele oppervlak van de siliciumplaat blijft de temperatuur binnen ±0,1°C. Bovendien wordt de temperatuurregeling zo geregeld dat het profiel van de fotorezystlaag steeds consistent blijft. Compatibiliteit met schone omgevingen is geen slogan voor ons – we gebruiken materialen met minimale uitstoot van gassen en een geometrie die geschikt is voor omgevingen van klasse 1–100. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%.

Verwarmingslamp voor vermogensapparaatwafer

Mon, 08 Jun 2026 05:20:31 +0800

Op de fabrieksvloer zal een drift van 1°C in soft bake het fotoresistprofiel verschuiven. Voer de hard bake iets te heet uit, en je zult scumming zien na de ontwikkeling. Power device wafers hebben brede dies en een krap thermisch budget, dus elke temperatuur niet-uniformiteit verschijnt als edge bead, slordige CD-controle en opbrengstverliezen die je niet kunt afschrijven.
Wat er echt toe doet onder de motorkap
We bouwen de heater voor power device wafers rond kortgolvige infraroodemitters in kwarts—snelle respons, stabiele output. Het thermische profiel blijft ±0,1°C over de wafer, zodat soft bake en hard bake binnen specificaties blijven, shift na shift. Het systeem past in Class 1–100 cleanrooms, met nul deeltjesgeneratie vanuit de lampassemblage en een afgesloten, laag-uitgasontwerp. De outputherhaalbaarheid blijft solide over 5.000+ uren, met minder dan 5% afname, zodat het procesvenster niet verschuift.
Waarom dit werkt voor power devices
Deze lamp is ontworpen voor de stroomlijn, waar dikke metalen, diepe vias en hoge-stroompaden thermische uniformiteit een vereiste maken, geen luxe. Je krijgt consistente soft en hard bakes, minder edge bead en minder herwerkpartijen. Het energieverbruik daalt dankzij snelle opwarming en strakke verblijfscontrole, en ongeplande stilstand daalt omdat de lamp 24/7 draait zonder constante kalibratiedrift. De opbrengst is een hogere first-pass yield en cyclustijd waarop je kunt vertrouwen.
Wat je goed moet krijgen bij installatie
Installatie draait om nauwkeurige optische uitlijning en een schone voedingsbus. Mismatched reflectoren en spanningsrimpel zullen zich terugbetalen als niet-uniformiteit. De lamp past in standaard OEM-toolinterfaces, maar plan de integratie rond de afvoerroutes en de thermische belasting op de stage.
Plan kwartaalpreventief onderhoud—emitterinspectie, reflectorreiniging en thermische verificatie—om die ±0,1°C specificatie intact te houden.