Probleemoplossing RTP systeemverwarmer

Thu, 04 Jun 2026 03:47:57 +0800

Out on the line, een halogeen RTP-verwarmer die 0,3°C afwijkt is al genoeg om je photoresist-profiel te verstoren—soft bake footing, hard bake cross-link variatie. De batch staat plotseling op dun ijs. In deze branche zijn thermische afwijkingen niet alleen potentiële defecten. Ze zijn al defecten, halverwege het proces.

Wat er werkelijk toe doet onder de motorkap
We bouwen deze RTP-verwarmers rond kortgolvige infrarood halogeenlampen en kwarts-halogeenassemblages omdat je warmte nodig hebt die snel, gericht en met lage thermische traagheid is. De specificaties wijken niet af: wafer-niveau uniformiteit binnen ±0,1°C, temperatuurherhaalbaarheid binnen ±0,5°C en een rampbesturing die het thermische budget nauwkeurig bewaakt voor geavanceerde nodes.
De behuizing van de verwarming is van kwarts en hoogwaardige keramiek, geschikt voor cleanroom Class 1–100, en ontworpen om geen deeltjes te genereren tijdens thermische cycli. We monitoren de outputstabiliteit over meer dan 5.000 uur, met een drift van minder dan 5%.

Probleemoplossing on Global Infrared Heating Systems

Probleemoplossing RTP systeemverwarmer