http://ir-heat-global.com/nl/tags/oxidatie/ Recent content in Oxidatie on Global Infrared Heating Systems Hugo nl Thu, 18 Jun 2026 04:36:37 +0800 http://ir-heat-global.com/nl/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Thu, 18 Jun 2026 04:36:37 +0800 http://ir-heat-global.com/nl/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Heating element voor waferoxidatie"></p> <p>Op de productielijn wordt de kwaliteit bepaald door nauwkeurige temperatuurcontrole. Als de baktemperatuur niet constant is, leidt dat tot oneffenheden in de dikte van de laag die wordt gevormd. Een te lage temperatuur tijdens het oxidatieproces zorgt voor een instabiele laag op het silicium. We hebben onze verwarmingselementen zo ontworpen dat ze deze problemen kunnen voorkomen – want de thermische controle moet op alle plekken waar het <a href="https://o-yate.com">nodig</a> is nauwkeurig zijn.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is:</strong> We gebruiken kortegolflengte-infraroodlicht, uitgestraald door kwartsemitters met een snelle respons. De afmetingen van deze emitters zijn <a href="https://o-yate.net">aangepast</a> aan de diameter van de siliciumplaten en de afmetingen van de apparatuur. Over het hele oppervlak van de siliciumplaat blijft de temperatuur binnen ±0,1°C. Bovendien wordt de temperatuurregeling zo geregeld dat het profiel van de fotorezystlaag steeds consistent blijft. Compatibiliteit met schone omgevingen is geen slogan voor ons – we gebruiken <a href="https://goldisgood.com">materialen</a> met minimale uitstoot van gassen en een geometrie die geschikt is voor omgevingen van klasse 1–100. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%.</p>