http://ir-heat-global.com/nl/tags/delen/ Recent content in Delen on Global Infrared Heating Systems Hugo nl Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/nl/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/nl/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Extreme UV (EUV) resistverwarmde onderdelen"></p> <p>Op de lithografielijn is het verhitten van de EUV-resist geen gewone stap meer – het vormt juist een essentieel onderdeel van het thermische systeem. Eén halve graad verschil kan al invloed hebben op de nauwkeurigheid van de afmetingen van de chip. Bovendien kan één enkele deeltje al schade toebrengen aan de hele chip. Wanneer de heater niet goed werkt, leidt dat tot verspilling, herwerkzaamheden en onplanbare stilstanden.</p> <p><strong>Wat echt belangrijk is</strong><br> Onze EUV-resistheaters zijn ontworpen om een constante temperatuur te bereiken. Hierbij worden korte- en middengolfinfraroodbronnen gebruikt, samen met kwarts- en carbonvezelmaterialen, zodat de temperatuur over de hele chip binnen ±0,1°C blijft. De temperatuurstijging wordt zorgvuldig geregeld, omdat zowel een zachte als een harde verhittingsprocedure vereisen dat de temperatuur stabiel blijft, zodat de chemische eigenschappen van de resist behouden blijven.</p>