http://ir-heat-global.com/ms/tags/sistem/ Recent content in Sistem on Global Infrared Heating Systems Hugo ms Thu, 04 Jun 2026 03:47:57 +0800 http://ir-heat-global.com/ms/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:47:57 +0800 http://ir-heat-global.com/ms/posts/troubleshooting-rtp-system-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Menyelesaikan masalah pemanas sistem RTP"></p> <p>Out on the line, pemanas halogen RTP yang mengembara sebanyak 0.3°C sudah cukup untuk mengganggu profil fotoresist anda—soft bake footing, variasi silang hard bake. Lot tersebut tiba-tiba berada dalam keadaan kritikal. Dalam perniagaan ini, anjakan terma bukan sahaja menunggu untuk menjadi kecacatan. Ia sudah menjadi kecacatan, di tengah proses.</p> <p><strong>Apa yang sebenarnya penting di bawah hud</strong></p> <p>Kami membina pemanas RTP ini menggunakan lampu halogen inframerah gelombang pendek dan pemasangan kuarza-halogen kerana anda memerlukan haba yang pantas, berarah, dan rendah inersia terma. Spesifikasi tidak boleh dipertikaikan: keseragaman tahap wafer dalam ±0.1°C, kebolehulangan suhu dalam ±0.5°C, dan kawalan kenaikan yang mengekalkan bajet terma tepat untuk nod maju.</p>