http://ir-heat-global.com/ms/tags/serasi/ Recent content in Serasi on Global Infrared Heating Systems Hugo ms Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ms/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ms/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Pemanas inframerah yang sesuai untuk vakum"></p> <p>Pada tingkat litografi, anda sudah tahu bagaimana keadaannya: perubahan suhu bakar sebanyak setengah darjah dan CD anda mula berubah. Satu zarah, dan anda membuang lebih dari sekadar wafer. Anda <a href="https://henruite.com">menjalankan</a> soft bake dan hard bake secara berturut-turut, kemudian membersih dan mengeringkan—setiap langkah membawa had terma ke hadapan. Jika pemanas mula berprestasi rendah, hasil akan merosot sebelum metrologi pun menunjukkan tanda.</p> <p><strong>Apa yang kami fokuskan, dari segi teknikal</strong><br> Kami membina pemanas inframerah yang sesuai untuk vakum menggunakan elemen NIR gelombang pendek dan optik kuarza, supaya tenaga terus mengenai wafer <a href="https://o-yate.net">dengan</a> cepat. Sepanjang chuck, keseragaman pada tahap wafer kekal dalam ±0.1°C, dan pengulangan dikawal <a href="https://o-yate.com">melalui</a> kawalan gelung tertutup dengan sensor terkalibrasi yang boleh dikesan ke NIST. Antara muka ruang menggunakan flange CF/ISO-K, dan <a href="https://goldisgood.com">badan</a> pemanas dibina untuk kegunaan bilik bersih Kelas 1–100, dengan pengesahan tiada penghasilan zarah melalui pengiraan zarah in-situ. Ketumpatan kuasa diselaraskan mengikut profil bakar photoresist, dan tindak balas terma adalah cukup pantas untuk mengikuti langkah resipi tanpa lebihan haba.</p>