Mengurangkan pelepasan karbon dalam pengeluaran semikonduktor (tanpa merosakkan peralatan)
Dalam proses pembersihan wafer semikonduktor, terdapat keseimbangan yang perlu dicapai. Anda perlu menghilangkan kelembapan dari wafer dengan cepat, tetapi pada masa yang sama, anda tidak boleh membiarkan sebarang kotoran masuk ke dalamnya.
Untuk waktu yang lama, orang-orang menggunakan kaedah pemanasan konvektif—iaitu dengan meniup udara panas ke seluruh permukaan wafer. Namun, kami telah menemukan cara yang lebih baik, iaitu menggunakan lampu inframerah yang tahan air.
Masalah yang timbul akibat persekitaran basah
Proses pembersihan wafer sangat merosakkan peralatan. Dengan kelembapan yang tinggi serta wap kimia, lampu biasa tidak akan mampu bertahan lama. Untuk mengelakkan perkara ini, kami menggunakan pelindung kuarsa dan sistem penutup yang ketat. Ini membantu melindungi elektrod daripada kelembapan. Selain itu, kami juga menggunakan lampu dengan daya yang tinggi. Mengapa? Kerana kita ingin mengeringkan permukaan wafer dengan cepat. Semakin singkat waktu wafer berada di zon peralihan tersebut, semakin baik hasilnya.
Cara menangani masalah “ketahanan air”
Apabila kita berkata “tahan air”, kita bukan bermaksud jaket hujan. Kita maksudkan penggunaan gasket yang tahan suhu tinggi serta penutup yang ketat untuk menghalang wap air daripada masuk ke dalam peralatan.
Namun, ada masalahnya. Kuarsa akan membesar apabila ia panas. Jika bracket yang digunakan terlalu ketat, tiub tersebut akan patah semasa proses pemanasan. Ini merupakan kesilapan yang serius, dan kami pastikan ia tidak berlaku dengan mencari kadar pengembangan yang sesuai.
Menjimatkan tenaga
Menggantikan oven berkuasa tinggi dengan sistem pemanasan inframerah merupakan langkah yang baik untuk melindungi alam sekitar. Daripada membuang tenaga untuk memanaskan setiap inci udara di dalam bilik, sistem inframerah menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Ini menjadikan proses pengeluaran lebih efisien. Dengan cara ini, kos tenaga per wafer dapat dikurangkan, sekali gus memudahkan pencapaian sasaran “kilang hijau”.
Perlu diingat bahawa lampu inframerah ini menghasilkan haba yang banyak. Jika sistem penyejukan dan pengudaraan di dalam bilik tidak mencukupi, sensor di sekelilingnya akan menjadi terlalu panas. Untuk mengelakkan perkara ini, kami menyarankan penggunaan sistem kawalan PID yang tepat. Sistem ini akan mengawal kuasa pemanasan agar suhu yang diinginkan dapat dicapai tanpa melebihi had yang ditetapkan.