Jangan biarkan komponen pemanas merosakkan kualiti wafer anda
Jika anda beroperasi di bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa sukarnya keadaan tersebut. Sebarang serpihan kecil daripada lapisan pelindung atau gas kimia yang bocor dari lampu tersebut boleh merosakkan kualiti wafer anda. Ini sangat menjengkelkan. Anda telah melabur banyak wang untuk mencipta persekitaran yang bersih, namun lampu IR biasa tetap boleh merosakkan hasil kerja anda.
Kami telah menemukan cara untuk mengelakkan perkara ini. Kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi untuk lampu-lampu yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Dengan cara ini, tiada lagi masalah berkaitan kekotoran.
Kelebihan penggunaan kuarsa berkualiti tinggi
Kebanyakan lampu menggunakan bahan perekat atau penutup yang murah; bahan-bahan ini akan mula “berasap” pada suhu 600°C. Inilah sumber kekotoran. Kami telah menggantikan bahan-bahan tersebut dengan kuarsa yang hampir bebas daripada kekotoran logam. Ini sangat penting kerana ia dapat mengelakkan kesan negatif akibat kekotoran yang berpindah ke permukaan wafer akibat haba yang tinggi. Penutup lampu ini direka untuk bertahan walaupun terdedah kepada suhu yang tinggi, tanpa retak atau pelepasan zarah karbon.
Pemanasan yang tepat pada tempat yang diperlukan
Lampu-lampu ini menghasilkan radiasi gelombang pendek yang sangat kuat. Kelebihannya ialah ia memanaskan permukaan wafer itu sendiri, bukan udara di dalam bilik tersebut. Proses pemanasan berlaku dengan cepat. Sistem HVAC tidak perlu bekerja keras untuk menyeimbangkan suhu. Ini membolehkan kawalan yang lebih tepat semasa proses pengeringan wafer atau pemprosesan photoresist.
Perkara yang perlu diambil kira
Kuarsa berkualiti tinggi memang hebat untuk tujuan pemanasan, tetapi ia mudah rapuh. Jika mesin anda bergetar semasa proses permulaan atau penghentian, tiub lampu boleh patah. Pastikan sokongan lampu dilengkapi dengan bahan penyerap getaran. Saya tidak boleh menekankan hal ini secukupnya.
Selain itu, lampu-lampu ini memancarkan haba yang sangat tinggi untuk memenuhi spesifikasi semikonduktor. Pastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika saiz sistem penyejukan tidak sesuai, soket lampu akan cair.
Jika anda ingin menukar lampu lama anda dengan yang baru, lampu-lampu ini direka untuk digunakan sebagai pengganti yang sesuai. Cuma periksa panjang dan kuasa lampu tersebut, kemudian anda boleh menggunakannya.