Di kemudahan pengeluaran semikonduktor, proses pembakaran yang dilakukan secara lembut atau keras bukan sekadar langkah biasa sahaja. Ia merupakan proses penting yang mempengaruhi kualiti produk akhir. Perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pemprosesan photoresist sudah cukup untuk menyebabkan perubahan pada ketebalan lapisan pada permukaan wafer, seterusnya menimbulkan kecacatan dan membuang keseluruhan kumpulan produk tersebut. Kami telah mencipta Digital Infrared Dryer Controller untuk mengurangkan risiko termal ini.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Controller ini menggunakan sensor NIR berkonsep loop tertutup, digabungkan dengan pemancar yang bertindak balas dengan cepat, agar suhu dapat dikawal dengan ketepatan ±0.1°C di seluruh permukaan wafer. Dengan cara ini, profil pembakaran photoresist menjadi lebih konsisten, dan proses penyejatan pelarut juga dapat dikawal dengan baik. Sistem ini sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, tanpa menghasilkan zarah-zarah berbahaya, dan ia juga mempunyai jangka hayat yang melebihi 50,000 jam.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi:
Dalam proses litografi dan pemprosesan photoresist, kualiti produk bergantung sepenuhnya pada kawalan suhu yang tepat. Controller ini membantu menstabilkan suhu di bahagian wafer, sehingga kawalan dimensi kritikal menjadi lebih mudah. Kekonsistenan proses pembakaran pula membantu mengurangkan kos operasi, serta mengurangkan jumlah produk yang perlu dibuang. Hasilnya, profil pembakaran yang konsisten, pengurangan jumlah produk yang rosak, dan produktiviti yang boleh diharapkan setiap hari.
Butiran yang memastikan keberkesanan sistem ini:
Pemasangan sistem ini sangat mudah, tetapi keseimbangan termal sangat penting. Pemancar perlu dipasang dengan betul agar sesuai dengan geometri wafer dan sifat emisi bahan pembawa haba. Jika tidak, sistem akan menghadapi masalah akibat pantulan cahaya dan kelewatan suhu. Pastikan kabel dan sistem pengecasan disusun dengan betul, agar sistem berfungsi dengan efektif. Dengan semua butiran ini dipenuhi dengan baik, sistem akan berfungsi dengan baik setiap hari, tanpa masalah.